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师小萍
作品数:
3
被引量:9
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
于广辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴渊文
中国科学院上海微系统与信息技术...
张燕辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
王彬
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈志蓥
中国科学院上海微系统与信息技术...
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功能材料与器...
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2013
1篇
2012
1篇
2011
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3
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Cu上石墨烯的化学气相沉积法生长研究
被引量:9
2011年
利用自行搭建的化学气相沉积(CVD)设备在Cu箔衬底上成功的制备出石墨烯薄膜,并利用光学显微镜和拉曼光谱分析等手段对石墨烯薄膜的形貌和结构进行了表征。主要研究了Cu箔的表面处理和沉积过程的气体流量对石墨烯质量的影响,发现氨水处理Cu箔可以腐蚀Cu箔表面的各种杂质提高Cu箔的洁净度从而提高石墨烯的结晶质量,优化CH4和H2的气体流量可以提高石墨烯的单层性和均匀性。并最终在CH4:H2=200:0 sccm条件下,在氨水处理过的Cu箔上获得了面积1.5 cm×1.5 cm的均匀的单层石墨烯。
师小萍
于广辉
王斌
吴渊文
关键词:
石墨烯
表面处理
拉曼
一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法
本发明涉及一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法,包括:将钼催化剂放入无氧反应器中,使催化剂的反应温度达到500-1600℃;向无氧反应器反应器中通入含碳气体,在0.1-760torr下反应0.1-9999min,待炉内温...
吴渊文
于广辉
师小萍
王彬
张燕辉
陈志蓥
一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法
本发明涉及一种在钼基衬底上制备石墨烯薄膜的方法,包括:将钼催化剂放入无氧反应器中,使催化剂的反应温度达到500-1600℃;向无氧反应器反应器中通入含碳气体,在0.1-760torr下反应0.1-9999min,待炉内温...
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于广辉
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