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王彬
作品数:
18
被引量:12
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
上海市科委纳米专项基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
张燕辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈志蓥
中国科学院上海微系统与信息技术...
于广辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
张浩然
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈翔
中国科学院上海微系统与信息技术...
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机构
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作者
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王彬
13篇
于广辉
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陈志蓥
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增大化学气相沉积石墨烯单晶晶畴尺寸的方法
本发明涉及一种增大化学气相沉积石墨烯单晶晶畴尺寸的方法,包括:将衬底置入独立腔室中,加热使衬底温度达到500-1600℃;然后在惰性气体保护下通入含碳气体,在0.1-760torr下反应,反应结束后降至室温,即可。本发明...
张燕辉
于广辉
陈志蓥
王彬
张浩然
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直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面缺陷分布的方法
本发明涉及一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面缺陷分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入氧化性溶液中,石墨烯褶皱以及其他缺陷处的金属衬底会被氧化,然后将氧化后的CVD石墨烯连同金属衬底置于光学显微...
张燕辉
于广辉
陈志蓥
王彬
张浩然
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一种柔性导热垫片的制备方法
本发明涉及一种柔性导热垫片的制备方法,包括以下步骤:提供一泡沫金属;提供一导热材料;将所述导热材料填入该泡沫金属中,形成导热垫片。本发明将导热性能较好并且尺寸合适的材料填入泡沫金属的空隙当中,得到的导热垫片与处理前的泡沫...
张燕辉
于广辉
陈志蓥
王彬
张浩然
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基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究
在生物医学工程中,磁珠( Magnetic Bead)可作为生物反应的固相支持物。因为磁珠具有比表面积大、偶联容量高、操控方便等优势,近年来得到了广泛的应用。随着MEMS技术的发展,利用硅基及塑性材料制作芯片级的磁珠操控...
王彬
关键词:
微机电系统
塑性材料
微加工工艺
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一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法
本发明涉及一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,包括以下步骤:将泡沫铜放入无氧反应器中,抽真空并通入惰性气体,加热使泡沫铜达到一定反应温度;向无氧反应器中通入含碳气体,在一定气压下反应一定时间,待炉内温度冷却至室温...
张燕辉
于广辉
陈志蓥
王彬
张浩然
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直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法
本发明涉及一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入密闭腔体中,抽真空后通入惰性气体,然后加热,再通入与石墨烯反应的气体,待反应结束后停止加热,停止通入反应气体...
张燕辉
于广辉
陈志蓥
王彬
张浩然
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一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法
本发明涉及一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,包括以下步骤:将泡沫铜放入无氧反应器中,抽真空并通入惰性气体,加热使泡沫铜达到一定反应温度;向无氧反应器中通入含碳气体,在一定气压下反应一定时间,待炉内温度冷却至室温...
张燕辉
于广辉
陈志蓥
王彬
张浩然
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直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法
本发明涉及一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法,包括:将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入密闭腔体中,抽真空后通入惰性气体,然后加热,再通入与石墨烯反应的气体,待反应结束后停止加热,停止通入反应气体...
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便于观察金属衬底上化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法
本发明涉及一种便于观察金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法,包括:将长有石墨烯的金属衬底置于氧化性气氛中,以氧化石墨烯褶皱处的金属;然后将氧化后的金属衬底置于光学显微镜下观察,纳米级褶皱分布情况在光学显微镜下清晰显现...
张燕辉
于广辉
陈志蓥
王彬
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一种增强泡沫铜抗氧化能力的方法
本发明涉及一种增强泡沫铜抗氧化能力的方法,包括以下步骤:将泡沫铜放入镍盐溶液中,并连接电源阴极;另取一导电材料作为阳极;在阴阳两极之间加上一定电压,一段时间后切断电压;得到的泡沫铜表面会覆盖一层镍薄膜,使得泡沫铜抗氧化性...
张燕辉
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