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董旭
董旭
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
熊敏
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张宝顺
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
赵迎春
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
时文华
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
周桃飞
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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董旭
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红外探测器的测量装置和测量方法
本发明公开一种红外探测器的测量装置和测量方法,该装置包括红外光谱仪,提供单色的红外光;低温装置,具有红外窗口,该红外窗口接收所述红外光;设于所述低温装置内的待测探测器和参考探测器;移动平台,带动所述红外光谱仪或待测探测器...
熊敏
周桃飞
邢利敏
董旭
张志强
张宝顺
半导体微台面列阵的测量装置和方法
本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法,该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法,结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点,可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深...
熊敏
赵迎春
董旭
时文华
张宝顺
文献传递
增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III-V光电探测器
本发明揭示了增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III‑V光电探测器,本方法利用硅(001)衬底材料的各向异性特点,在硅(001)衬底上形成特定周期的倒三角凹槽,并填充III‑V材料种子层,得到增反结构,可以有...
董旭
熊敏
张宝顺
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法,包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统;所述电源模块与所述整流滤波模块连接;其中,IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭
崔志国
熊敏
李华
文献传递
制备硅基纳米图形阵列结构的方法
本发明提供了一种制备硅基纳米图形阵列结构的方法,所述方法包括:设置硅衬底;在硅衬底上沉积阻挡层,在阻挡层上沉积铝膜;利用第一酸溶液对铝膜进行一次阳极氧化处理,以将铝膜的远离硅衬底一侧的表面形成为第一纳米图形阵列结构;利用...
赵迎春
熊敏
董旭
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增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III-V光电探测器
本发明揭示了增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III‑V光电探测器,本方法利用硅(001)衬底材料的各向异性特点,在硅(001)衬底上形成特定周期的倒三角凹槽,并填充III‑V材料种子层,得到增反结构,可以有...
董旭
熊敏
张宝顺
文献传递
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法,包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统;所述电源模块与所述整流滤波模块连接;其中,IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭
崔志国
熊敏
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制备硅基纳米图形阵列结构的方法
本发明提供了一种制备硅基纳米图形阵列结构的方法,所述方法包括:设置硅衬底;在硅衬底上沉积阻挡层,在阻挡层上沉积铝膜;利用第一酸溶液对铝膜进行一次阳极氧化处理,以将铝膜的远离硅衬底一侧的表面形成为第一纳米图形阵列结构;利用...
赵迎春
熊敏
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InAs/GaSb二类超晶格红外探测器的MOCVD生长和制备
锑化物InAs/GaSb二类超晶格探测器是继碲镉汞红外探测器,量子阱红外探测器之后兴起的高性能制冷型红外探测器,具有暗电流小、俄歇复合率低、波长调节范围大等优点.目前国内外的InAs/GaSb二类超晶格探测器均用MBE生...
黄勇
吴启花
赵宇
熊敏
赵迎春
董旭
张宝顺
关键词:
红外探测器
气相外延生长
晶格结构
性能表征
半导体微台面列阵的测量装置和方法
本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法,该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法,结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点,可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深...
熊敏
赵迎春
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