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梁聚宝

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 4篇单片
  • 4篇真空阀
  • 4篇真空阀门
  • 4篇晶格
  • 4篇红外
  • 4篇红外加热
  • 4篇超晶格
  • 4篇超晶格薄膜
  • 2篇弹簧
  • 2篇电路
  • 2篇样片
  • 2篇真空机组
  • 2篇气路系统
  • 2篇自动控制
  • 2篇自动控制系统
  • 2篇控制系统
  • 2篇控制装置
  • 2篇机械手
  • 2篇集成电路
  • 2篇计算机

机构

  • 6篇清华大学

作者

  • 6篇梁聚宝
  • 6篇钱佩信
  • 6篇林惠旺
  • 6篇刘荣华
  • 4篇刘志弘
  • 4篇陈长春
  • 4篇白玉琦
  • 4篇陈必贤
  • 2篇罗广礼
  • 2篇黄文韬
  • 2篇金晓军
  • 2篇陈培毅
  • 2篇张伟
  • 2篇韩勇

年份

  • 1篇2007
  • 2篇2006
  • 1篇2004
  • 1篇2001
  • 1篇1999
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
超高真空化学气相淀积外延系统
本发明属于生长超大规模集成电路薄膜材料技术领域,包括外延生长室及其加热装置,预处理装片室,磁传动传送片机构,气路系统,热电偶与光测高温计,加热电源,高真空机组抽气系统,尾气处理装置以及计算机自动控制系统;加热装置由固定在...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华韩勇金晓军罗广礼陈培毅陈必贤白玉琦
文献传递
单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统
单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统属于超大规模集成电路薄膜外延生长和超晶格薄膜材料生长技术领域，除了高真空机组、气路装置、尾气处理装置、测温控温装置、加热电源、计算机控制装置以外，其特征在于，它含有：反应腔；...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华刘志弘白玉琦陈必贤黄文韬陈长春
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超高真空化学气相淀积外延系统的张合式取放片机械手
本发明属于集成电路半导体薄膜外延生长技术及超晶格薄膜材料生长技术领域；其特征在于含有：磁传动轴、止推弹簧、止推挡板、档头、双定位转芯、两个内套筒、外套筒、换向轴、换向弹簧以及基于四连杆机构的张合式机械手夹臂；磁传动轴前进...
钱佩信梁聚宝林惠旺刘荣华刘志弘陈长春张伟
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超高真空化学气相淀积外延系统
本发明属于生长超大规模集成电路薄膜材料技术领域，包括外延生长室及其加热装置，预处理装片室，磁传动传送片机构，气路系统，热电偶与光测高温计，加热电源，高真空机组抽气系统，尾气处理装置以及计算机自动控制系统；加热装置由固定在...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华韩勇金晓军罗广礼陈培毅陈必贤白玉琦
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单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统
单片三腔式红外加热超高真空化学气相淀积外延系统属于超大规模集成电路薄膜外延生长和超晶格薄膜材料生长技术领域，除了高真空机组、气路装置、尾气处理装置、测温控温装置、加热电源、计算机控制装置以外，其特征在于，它含有：反应腔；...
钱佩信林惠旺梁聚宝刘荣华刘志弘白玉琦陈必贤黄文韬陈长春
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超高真空化学气相淀积外延系统的张合式取放片机械手
本发明属于集成电路半导体薄膜外延生长技术及超晶格薄膜材料生长技术领域；其特征在于含有：磁传动轴、止推弹簧、止推挡板、档头、双定位转芯、两个内套筒、外套筒、换向轴、换向弹簧以及基于四连杆机构的张合式机械手夹臂；磁传动轴前进...
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