彭韶华
- 作品数：9 被引量：25H指数：3
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 电容式相对湿度传感器
- 本发明公开了一种用于微电子机械系统的电容式相对湿度传感器，由衬底、电容下极板和电容上极板组成，电容下极板设在衬底上，电容上极板位于电容下极板的上方，在电容上极板的电容上极板投影以外的区域设有氧化层，氧化层上设有电容上、下...
- 彭韶华黄庆安秦明
- 文献传递
- CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器被引量：5
- 2006年
- 设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器，将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上．片上集成的湿度传感器为叉指电容式，感湿介质为聚酰亚胺，本文给出了相应的感湿模型-针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点，本文采用开关电容电路作为片上微电容测量电路，讨论了电路的原理并给出了模拟结果．芯片采用3μm多晶硅栅标准CMOS工艺进行流水．测量结果表明，片上集成湿度传感器在5～35℃有较好的直流输出特性，并且长时间稳定性良好．
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 关键词：开关电容电路聚酰亚胺湿度传感器
- 电容式相对湿度传感器
- 本发明公开了一种用于微电子机械系统的电容式相对湿度传感器，由衬底、电容下极板和电容上极板组成，电容下极板设在衬底上，电容上极板位于电容下极板的上方，在电容上极板的电容上极板投影以外的区域设有氧化层，氧化层上设有电容上、下...
- 彭韶华黄庆安秦明
- 文献传递
- CMOS工艺兼容的相对湿度传感器
- 本发明公开了一种用于检测湿度的CMOS工艺兼容相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容下极板，电容上极板组成，氧化层设在衬底上，电容下极板平铺于氧化层上，电容上极板位于衬底和氧化层的上方；本发明具有制作方法和结构非常简单，温...
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 文献传递
- CMOS工艺兼容的相对湿度传感器
- 本发明公开了一种用于检测湿度的CMOS工艺兼容相对湿度传感器，由衬底，氧化层，电容下极板，电容上极板组成，氧化层设在衬底上，电容下极板平铺于氧化层上，电容上极板位于衬底和氧化层的上方；本发明具有制作方法和结构非常简单，温...
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 文献传递
- CMOS工艺兼容的温湿度传感器被引量：16
- 2005年
- 设计并制备了一个CMOS工艺兼容的温湿度传感器,讨论了感湿理论模型并用COVENTOR软件进行了模拟,给出了具体的结构参数及工艺制作步骤,最后对温湿度传感器进行了测量,对理论值和实际测量值做了比较并给出了分析结果.结果表明,传感器在25℃时的灵敏度为0.015pF/%RH,从15%RH～95%RH,电容实际变化量为1.23pF.
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 关键词：温湿度传感器聚酰亚胺电容型CMOS
- 一种基于CMOS工艺的集成湿度传感器
- 本文设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器,湿度传感器与CMOS测量电路集成在一起,制作加工在同一芯片上.片上集成的湿度传感器为叉指电容式,感湿介质为聚酰亚胺,本文给出了相应的感湿模型.针对湿度传感器在全量程电...
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 关键词：开关电容电路聚酰亚胺CMOS传感器
- 文献传递
- CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器研究
- 湿度传感器广泛应用于军事,气象,农业,工业/(特别是纺织,电子,食品/),医疗,建筑以及家用电器等方面,与工农业生产和人民生活息息相关。随着CMOS技术和MEMS技术的快速发展,充分利用集成电路大批量低成本制造的技术优势...
- 彭韶华
- 关键词：单片集成湿度传感器CMOS聚酰亚胺
- 文献传递
- 接触电容式压力传感器的设计与模拟被引量：2
- 2003年
- 针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。
- 彭韶华周闵新秦明黄庆安
- 关键词：ANSYS非线性度气压计
