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魏伟伟
作品数:
10
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
中国航空科学基金
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相关领域:
理学
自动化与计算机技术
电子电信
机械工程
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合作作者
杨晋玲
中国科学院半导体研究所
杨富华
中国科学院半导体研究所
毛旭
中国科学院半导体研究所
张金英
中国科学院半导体研究所
朱银芳
中国科学院半导体研究所
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理学
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衰减器
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阵列
机构
10篇
中国科学院
作者
10篇
杨富华
10篇
魏伟伟
10篇
杨晋玲
7篇
毛旭
3篇
张金英
1篇
朱银芳
传媒
1篇
航空兵器
年份
1篇
2017
1篇
2016
4篇
2015
3篇
2014
1篇
2012
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一种挡光式微机电可变光衰减器
本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器,其包括:输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路;固定遮光板中心具有通光孔,驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合,可动MEMS...
毛旭
吕兴东
魏伟伟
杨晋玲
杨富华
文献传递
一种挡光式微机电可变光衰减器
本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器,其包括:输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路;固定遮光板中心具有通光孔,驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合,可动MEMS...
毛旭
吕兴东
魏伟伟
杨晋玲
杨富华
文献传递
基于MEMS VOA阵列的红外场景生成器
2016年
针对动态半实物仿真系统的需求,提出了一种新颖的基于微机电系统(MEMS)技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器(VOA)阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构,提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案,为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。
吕兴东
魏伟伟
张金英
杨晋玲
杨富华
关键词:
微机电系统
可变光衰减器
阵列
洛伦兹力
阵列型微机电可变光衰减器
本发明提供了一种阵列型微机电可变光衰减器。该阵列型微机电可变光衰减器通过使用固定遮光板与可动遮光块相结合的方法,有效低控制了光的散射和光束尺寸,实现了良好的光衰减性能。
毛旭
吕兴东
魏伟伟
杨晋玲
杨富华
文献传递
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器
本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行器,其由两个可动的弹性结构串联而成,可以在电流和磁场的作用下,利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流,就能实现很大的位移。通过控制电流的方向,两个结...
杨晋玲
吕兴东
魏伟伟
张金英
杨富华
阵列型微机电可变光衰减器
本发明提供了一种阵列型微机电可变光衰减器。该阵列型微机电可变光衰减器通过使用固定遮光板与可动遮光块相结合的方法,有效低控制了光的散射和光束尺寸,实现了良好的光衰减性能。
毛旭
吕兴东
魏伟伟
杨晋玲
杨富华
文献传递
一种快速射频微机械开关
本发明公开了一种快速射频微机械开关,包括复合悬臂梁、驱动下电极、射频传输线和高阻硅衬底,复合悬臂梁是由上下两层介质层和中间的金属层构成的三明治结构,该快速射频微机械开关采用inline排布,复合悬臂梁位于驱动下电极的正上...
朱银芳
魏伟伟
毛旭
杨晋玲
杨富华
文献传递
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器
本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行执行器,其由两个可动的弹性结构串联而成,可以在电流和磁场的作用下,利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流,就能实现很大的位移。通过控制电流的方向,两...
杨晋玲
吕兴东
魏伟伟
张金英
杨富华
文献传递
一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法
本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法。该方法在微纳加工工艺的基础上,采用体硅加工技术制作可变光衰减器的固定挡光板和活动挡光板,通过在固定挡光板、活动挡光板上淀积挡光材料,起到对光束的遮挡限制作用;固定挡光板...
毛旭
魏伟伟
吕兴东
杨晋玲
杨富华
文献传递
一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法
本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法。该方法在微纳加工工艺的基础上,采用体硅加工技术制作可变光衰减器的固定挡光板和活动挡光板,通过在固定挡光板、活动挡光板上淀积挡光材料,起到对光束的遮挡限制作用;固定挡光板...
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魏伟伟
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