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杨静
作品数:
87
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
电子电信
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理学
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合作作者
赵德刚
中国科学院半导体研究所
刘宗顺
中国科学院半导体研究所
陈平
中国科学院半导体研究所
梁锋
中国科学院半导体研究所
朱建军
中国科学院半导体研究所
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杨静
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2014
1篇
2013
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基于P型氮化镓的欧姆接触生成方法及半导体器件
本发明提供一种基于P型氮化镓的欧姆接触生成方法及半导体器件,涉及半导体技术领域,其中方法包括:在衬底上制备外延结构,外延结构包括以下至少一项:氮化镓缓冲层、非故意掺杂氮化镓层、第一掺镁P型氮化镓层及第二掺镁P型氮化镓层;...
梁锋
赵德刚
刘宗顺
杨静
非故意掺杂碳杂质对Mg掺GaN层电学和光学性质的影响
众所周知,MOCVD生长系统使用金属有机源作为前驱体,所以C杂质是一种非常重要的非故意掺杂杂质.C杂质在GaN中可以形成多种形态,它既可以代替N的位置充当施主(CN),也可以代替Ga的位置充当受主(C Ga),还可以形成...
杨静
赵德刚
一种紫外激光器外延片及其制备方法
本发明公开了一种紫外激光器外延片及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,该制备方法包括:在非掺杂基础层上制备非掺杂过渡层,其中,非掺杂基础层包括非掺杂GaN基础层或非掺杂AlN基础层;在非掺杂过渡层上制备第一AlGaN限制...
杨静
赵德刚
梁锋
陈平
刘宗顺
一种提高空穴注入的氮化镓基激光器
本公开提供了一种提高空穴注入的氮化镓基激光器,包括P型电极和N型电极,还包括:第一限制层,设置于所述P型电极和所述N型电极之间,用于限制光场;多量子阱,设置于所述第一限制层与所述N型电极之间,用于使电子和空穴在此处发生辐...
侯玉菲
赵德刚
梁锋
杨静
陈平
刘宗顺
文献传递
减小GaN基蓝紫光端发射激光器电子泄漏的方法
一种减小GaN基蓝紫光端发射激光器中电子泄漏的方法,包括以下步骤:步骤1:在一蓝宝石衬底上依序制作低温成核层、n型接触和电流扩展层、n型AlGaN限制层、n型GaN波导层、InGaN/GaN量子阱有源区、InGaN插入层...
乐伶聪
赵德刚
江德生
刘宗顺
陈平
杨静
何晓光
李晓静
杨辉
具有AlInN镁反向扩散阻挡层的氮化镓基紫外激光器
一种具有AlInN镁反向扩散阻挡层的氮化镓基紫外激光器包括一氮化镓同质衬底;一n型同质外延层;一n型限制层;一n型波导层;一有源区;一AlInN镁反向扩散阻挡层;一p型电子阻挡层;一p型波导层;一p型限制层,其制作在p型...
陈平
赵德刚
朱建军
刘宗顺
杨静
梁锋
文献传递
具有复合波导层的氮化镓基近紫外激光器
一种具有复合波导层的氮化镓基近紫外激光器包括一衬底;一n型外延层;一n型限制层;一第一n型AlInN波导层;一第二n型AlInN波导层;一有源区;一AlInN波导层;一p型电子阻挡层;一p型AlInN波导层;一p型限制层...
陈平
赵德刚
朱建军
刘宗顺
杨静
梁锋
文献传递
应力调控波导层绿光激光器外延片及其制备方法
一种应力调控波导层绿光激光器外延片,包括:一衬底;一高温n型GaN层制作在衬底上;一高温n型AlGaN限制层制作在高温n型GaN层上;一应力调控下波导层制作在高温n型AlGaN限制层上;一InGaN/GaN多量子阱发光层...
杨静
赵德刚
陈平
朱建军
刘宗顺
文献传递
一种氮化镓的制备方法及氮化镓基器件
本公开实施例提供了一种氮化镓的制备方法及氮化镓基器件,该制备方法包括:提供衬底;在上述衬底上生长低温成核层;以及在反应室的温度处于1000℃~1100℃且上述反应室的压力处于100Torr~300Torr的情况下,在上述...
王柏斌
赵德刚
梁锋
杨静
陈平
刘宗顺
低电阻率低温P型铝镓氮材料的制备方法
一种低电阻率低温P型铝镓氮材料的制备方法,包括如下步骤:步骤1:将一衬底升温,在氢材料气环境下热处理;步骤2:在衬底上生长一层低温成核层,为后续外延生长提供成核中心;步骤3:在低温成核层上生长一层非故意掺杂模板层;步骤4...
杨静
赵德刚
陈平
刘宗顺
江德生
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