2024年11月6日
星期三
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陈平
作品数:
138
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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国家自然科学基金
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵德刚
中国科学院半导体研究所
刘宗顺
中国科学院半导体研究所
朱建军
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
江德生
中国科学院半导体研究所
杨静
中国科学院半导体研究所
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作者
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陈平
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1篇
1990
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一种Si基GaN及其生长方法
本公开提供一种Si基GaN及其生长方法,方法包括:在基础层(1)上生长混合梯度AlGaN层(2);在混合梯度AlGaN层(2)上生长GaN层(3);其中,混合梯度AlGaN层(2)中,靠近GaN层(3)一侧的Al含量小于...
张臻琢
赵德刚
杨静
梁锋
陈平
刘宗顺
文献传递
基于PN异质结的氮化铝真空探测器及其制备方法
本发明提供一种基于PN异质结的氮化铝真空探测器及其制备方法,包括:蓝宝石衬底;在蓝宝石衬底上依次叠置的氮化铝缓冲层、氮化铝外延层和P型铝镓氮层;氮化铝层、二氧化硅绝缘膜和第一Ti/Al/Ti/Au层沿第一方向并列覆盖于P...
赵德刚
孙兆兰
杨静
梁锋
刘宗顺
陈平
铝镓氮薄膜及其高温退火方法
本发明提供一种铝镓氮薄膜及其高温退火方法,铝镓氮薄膜的高温退火方法包括:将铝镓氮薄膜放入退火炉中;在氮气气氛下,对铝镓氮薄膜进行脉冲式高温循环退火;本发明通过采用脉冲式高温循环退火的方法对铝镓氮薄膜进行退火,即采用间歇式...
陈平
许昕玥
肖湘珂
赵德刚
薛春来
发射极与纳米管相连的纳米真空晶体管及制备方法
本公开提供一种发射极与纳米管相连的纳米真空晶体管及制备方法,纳米真空晶体管包括:收集极,绝缘层,纳米管,发射极和栅极;收集极、纳米管和发射极设置在绝缘层的第一表面,纳米管的一端与发射极连接,另一端与收集极相对且间隔预设距...
边庆玉
陈平
韩伟华
梁锋
赵德刚
一种紫外激光器外延片及其制备方法
本发明公开了一种紫外激光器外延片及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,该制备方法包括:在非掺杂基础层上制备非掺杂过渡层,其中,非掺杂基础层包括非掺杂GaN基础层或非掺杂AlN基础层;在非掺杂过渡层上制备第一AlGaN限制...
杨静
赵德刚
梁锋
陈平
刘宗顺
一种提高空穴注入的氮化镓基激光器
本公开提供了一种提高空穴注入的氮化镓基激光器,包括P型电极和N型电极,还包括:第一限制层,设置于所述P型电极和所述N型电极之间,用于限制光场;多量子阱,设置于所述第一限制层与所述N型电极之间,用于使电子和空穴在此处发生辐...
侯玉菲
赵德刚
梁锋
杨静
陈平
刘宗顺
文献传递
倒装阳极的纳米真空三极管结构及制备方法
一种倒装阳极的纳米真空三极管结构,包括:一衬底;一氮化铝薄膜阴极生长于衬底的正面;一金属电极制作在衬底的背面;形成阴极;一玻璃基板;一透明导电层制作在玻璃基板上;一第一绝缘层制作在透明导电层上,中间为窗口;一金属栅极制作...
梁锋
陈平
赵德刚
侍铭
刘宗顺
江德生
文献传递
减小GaN基蓝紫光端发射激光器电子泄漏的方法
一种减小GaN基蓝紫光端发射激光器中电子泄漏的方法,包括以下步骤:步骤1:在一蓝宝石衬底上依序制作低温成核层、n型接触和电流扩展层、n型AlGaN限制层、n型GaN波导层、InGaN/GaN量子阱有源区、InGaN插入层...
乐伶聪
赵德刚
江德生
刘宗顺
陈平
杨静
何晓光
李晓静
杨辉
Al<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x</sub>N基紫外探测器及制备方法
一种AlxGa1‑xN基紫外探测器及制备方法,该Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1‑x</Sub>N基紫外探测器,包括:一衬底,所述衬底的材料为蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓或砷化镓;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接...
赵德刚
李晓静
江德生
刘宗顺
朱建军
陈平
文献传递
一种集成化可重构光插分复用器
本发明公开了一种集成化可重构光插分复用器,该可重构光插分复用器单元采用级联可调双微环谐振器作为基本单元,包含有多个级联可调双微环谐振器,其中每个级联可调双微环谐振器均包括两条互不交叉的直波导和两个半径不同的环形波导,该两...
田永辉
杨林
冀瑞强
卢洋洋
张磊
贾连希
陈平
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