杜晓辉
- 作品数：86 被引量：54H指数：4
- 供职机构：机械工业仪器仪表综合技术经济研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国航空科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 国产傅立叶变换红外光谱仪综合验证评价技术研究被引量：1
- 2018年
- "十二五"以来,高性能国产仪器得到大力发展,但是仍在向中低端市场聚集,仪器性能提升和应用推广之间难以形成良好的促进。文章提出一种基于第三方获取可靠数据的仪器验证评价新方法,该方法的优势在于能从全生命周期评价仪器性能,帮助潜在用户真实了解国产仪器。通过数据分析进一步提升国产仪器并促进其应用推广,支撑国产高性能仪器进入中高端市场。本文重点以某国产傅立叶变换红外光谱仪为例开展仪器综合验证评价技术研究。
- 杜晓辉赵燕雯卢铁林石镇山
- 关键词：国产仪器
- 一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法
- 一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法，涉及一种微机电系统传感器与制动器。提供一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法。1）将玻璃片与硅片键合在一起，形成硅/玻璃组合片以及中间的牺牲氧化层；2）将步骤1...
- 孙道恒占瞻何杰杜晓辉虞凌科李益盼王凌云
- 文献传递
- 锚定新基建 协同发力 精准施策 推动我国仪器仪表行业高质量发展被引量：6
- 2020年
- 早在20世纪末,王大珩院士、金国藩院士等仪器仪表行业专家就提出了振兴我国仪器事业的目标和若干建议。王大珩院士指出"仪器是认识世界的工具。这是相对机器是改造世界的工具而言的,而改造世界是以认识世界为基础的"。"仪器仪表是工业生产的‘倍增器’,是科学研究的‘先行官’,是军事上的‘战斗力’,是现代生活的‘物质法官’"。这四句话精辟地概括了仪器仪表对国民经济、科学研究和国家安全的重要作用。
- 欧阳劲松杜晓辉方毅芳
- 关键词：仪器仪表倍增器
- 可加热自动对心匀胶机
- 可加热自动对心匀胶机，涉及用于薄膜工艺的匀胶机。设有感应加热控制器和自动对心平台；感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；感应加热...
- 王凌云陈梦月梁楚尉蔡建法周如海杜晓辉
- 文献传递
- 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法
- 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法，涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅/第1玻璃组合片；采用磁控溅射法在硅/第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅/第1玻璃组合片...
- 吕文龙占瞻左文佳杜晓辉苏源哲王凌云孙道恒
- 文献传递
- 气象水文海洋仪器可靠性强化试验技术应用研究被引量：3
- 2021年
- 海洋仪器可靠性是影响海洋仪器工程化和产业化的关键因素,已成为制约我国海洋仪器发展的一大瓶颈问题。针对海洋仪器可靠性提升的需求,本文综述分析了国内外海洋仪器可靠性研究现状,提出了一套适用于气象与水文海洋仪器的可靠性强化试验方法,以定点CTD(温盐深)、气温和气压等海洋水文气象测量仪为研究对象,设计了热应力步进、快速温变、振动步进以及综合环境应力等可靠性强化试验剖面并开展了相关试验。试验结果显示强化试验激发了海洋仪器故障,通过故障定位分析和设计改进,有效提升了设备可靠性水平。本文研究成果可为同类海洋仪器设备可靠性强化试验的开展提供良好借鉴。
- 刘帅朱敏杰杜晓辉徐大千姜飞施继伟韩东祥
- 关键词：可靠性可靠性强化试验
- 基于AGC闭环控制的谐振式压力传感器驱动仿真及接口电路设计被引量：4
- 2013年
- 谐振式压力传感器利用正反馈原理,构成包括机械谐振子在内的机电一体的高品质闭环谐振系统,闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。本文针对一种典型结构的静电驱动电容检测谐振式压力传感器,在分析工作原理的基础上,构建了其行为级闭环自激仿真模型,在MATLAB中对自激回路的起振情况进行了仿真;最后设计了基于AGC的闭环控制电路。
- 张驰杜晓辉孙道恒
- 关键词：行为级仿真驱动电路
- 一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法
- 一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法，涉及微惯性器件。提供简单、可保证电学特性且成本低的一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法。加工梳状结构的硅微惯性器件半成品主体结构；加工与硅微惯性器件半成品主体结构...
- 孙道恒杜晓辉占瞻何杰周如海蔡建法王凌云
- 文献传递
- 制造的数字化网络化智能化的思考与建议被引量：5
- 2018年
- 1引言2015年-2017年,机械工业仪器仪表综合技术经济研究所（以下简称“仪综所”）承担了工业和信息化部多项智能制造综合标准化与新模式应用项目,制定基础共性标准草案27项。在项目执行期间,仪综所技术团队走访调研了国内外近百家制造企业,同时与国内外技术团体、标准化组织、
- 欧阳劲松刘丹杜晓辉
- 关键词：智能化网络化数字化工业仪器仪表技术经济
- 面向TGV封装的纳米玻璃粉末回流工艺
- 2020年
- 基于玻璃通孔(TGV)技术的微电子机械系统(MEMS)封装可用于传感器无引线封装,研究了基于纳米玻璃粉末热回流工艺的新型TGV实现方法。采用球磨技术制备玻璃粉末,且通过研究干法和湿法球磨工艺,使粒径小于1μm的纳米玻璃粉末的分布占比之和达到95.6%。将纳米玻璃粉末填充到硅槽里,再经过高温回流后,获得TGV结构。回流的玻璃用于粘接硅片样品,粘接强度超过7 MPa。纳米玻璃粉末在1000℃真空条件下保温4 h,回流的玻璃能够有效填充带硅柱的大平面凹槽和高深宽比凹槽。该工艺为玻璃微加工和无引线封装提供了新思路。
- 杜晓辉刘帅朱敏杰
- 关键词：无引线封装
