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马宏舟
作品数:
5
被引量:12
H指数:2
供职机构:
复旦大学
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发文基金:
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相关领域:
机械工程
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合作作者
苏毅
复旦大学
钱佑华
复旦大学
陈良尧
复旦大学
冯星伟
复旦大学
周仕明
复旦大学
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机构
5篇
复旦大学
作者
5篇
陈良尧
5篇
马宏舟
5篇
钱佑华
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苏毅
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冯星伟
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周仕明
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林成鲁
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郑玉祥
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红外与毫米波...
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1996
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1995
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1993
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金膜光学常数的椭圆偏振光谱测量精度研究
被引量:3
1993年
为了利用可变入射角椭圆偏振光谱仪最佳地测出固体材料的光学常数,我们特别对金膜从理论和实验两方面研究了不同入射波长下入射角的选取对光学常数测量精度的影响,发现对不同的入射波长,在相应的主角下测出的光学常数具有最高的精度,主入射角下测量最佳条件对其它固体材料光学常数的测量同样适用。
冯星伟
苏毅
马宏舟
陈良尧
钱佑华
关键词:
光学常数
椭圆偏振
金膜
可变入射角波长扫描RPA型椭偏仪的研制
被引量:9
1995年
设计制作了一台用同步旋转起偏器和检偏器(转速之比为1:2)测量方式的波长扫描型椭偏仪。由于附加了一个固定偏振器以消除光源的部分偏振性,实验信号包括一个直流成分和四个交流成分,其频率分别为ω0,2ω0,3ω0和4ω0,利用四个交流成分中的任意三个便可以得到材料的复介电函数,实验结果的自洽度优于0.5%。并详细介绍了系统的设计、定标和校正过程,利用该椭偏仪对Au和CdTe样品复介电函数的测量结果与其它报道一致。
冯星伟
苏毅
马宏舟
陈良尧
钱佑华
关键词:
波长扫描
一种正入射式反射率光谱仪
本实用新型由光源、单色仪、样品暗箱、光电探测器以及计算机等部分组成。其中样品暗箱内装设有样品架、探测器的光子探测部分、截光转盘、M形棱镜等。M形棱镜将由单色仪入射的光束分为参考光和样品入射光,两光束分别通过截光转盘被探测...
陈良尧
苏毅
钱佑华
马宏舟
周仕明
文献传递
GaSb晶体的高能N^+注入及其光学性质
1995年
本文用低温光致发光光谱(PL)、椭圆偏振光谱(SE)、背散射及沟道技术(RBS/C)、扫描电镜技术(SEM)等研究了2MeV高能N+注入Gasb晶体损伤及其光学性质.结果表明高能N+注入Gasb晶体不会产生反常膨胀(Swelling),通过合理的退火可使注入样品晶格得到很好恢复.椭圆偏振光谱能准确反映注入样品晶格损伤情况,并与背散射结果吻合.用有效介质模型(EMA)对椭偏谱进行似合可对注入损伤有定量的了解.
郑玉祥
苏毅
周仕明
马宏舟
陈良尧
郑安生
钱佑华
林成鲁
何冶平
关键词:
半导体材料
氮离子注入
光学性质
波长扫描和入射角可变全自动椭圆偏振光谱仪
陈良尧
钱佑华
冯星伟
苏毅
马宏舟
蓬勃发展的现代高科技光电子领域需要对各种材料的光学性质有深刻的了解。伴随微计算机技术的引入而发展起来的自动椭圆偏振光谱仪,作为现代高精度的实验物理光谱学仪器,可用于无损检测和分析各种固体材料的光学特性,因此,无论在科技还...
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波长扫描
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