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匡一宁
作品数:
6
被引量:31
H指数:3
供职机构:
东南大学
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相关领域:
机械工程
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电子电信
电气工程
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合作作者
黄庆安
东南大学微电子中心
章彬
东南大学
朱珂
东南大学
孟为民
东南大学
严先蔚
东南大学
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匡一宁
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黄庆安
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章彬
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2003
1篇
2001
1篇
2000
3篇
1999
共
6
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横向驱动热执行器的结构模型及模拟
该文在横向热驱动微执行器的热流模型及其模拟结果的基础上,应用结构力学矩阵位移法计算执行器关键节点的位移。对不同尺寸和不同外加条件下结构位移的分析可以得到一些热驱动微执行器设计上的要点。该程序是作者用Delphi开发的SE...
匡一宁
黄庆安
文献传递
网络资源链接
微型半导体热执行器与压电传感器研究
黄庆安
匡一宁
刘清拳
吕世骥
该项目为以半导体微机械加工为技术基础的发展促进了传感器与执行器微型化。设计并制备了多晶硅热执行器,通过引入结构力学的力法建立了该执行器的设计理论;提出了GaAs电阻的压电调制效应;对不同衬底取向,不同电阻条取向等进行了分...
关键词:
基于热膨胀效应的微执行器进展
被引量:19
1999年
本文首先分析了热驱动微执行器的基本原理及其相对于静电驱动、磁驱动的优势。接着分析了五种常见的热驱动结构(线性热膨胀结构、冲击驱动结构、双变体(Bim orph)结构、弯曲梁结构以及热空气结构)的原理、特点,它们的某些典型应用也随后作了介绍。最后对热驱动微执行器计算机辅助设计的前景进行了展望。
匡一宁
黄庆安
关键词:
微电子机械系统
热膨胀
微执行器
热驱动微执行器的模拟与CAD研究
该文主要研究一种MEMS器件--多晶硅热驱动微执行器的工作状态计算机模拟.尽管MEMS近年来得到了广泛的研究,但对于微执行器的关注仍然不如微传感器.该文首先综述了5种常见的热驱动微执行器工作原理,并比较了各自的优劣.其中...
匡一宁
关键词:
矩阵位移法
文献传递
微电子机械系统计算机辅助设计
被引量:12
1999年
主要介绍 MEMS 计算机辅助设计(CAD) 的研究内容和发展,以及和 MEMS CAD 有关的MEMS 标准化制造技术的发展情况。
黄庆安
秦明
李伟华
匡一宁
朱珂
章彬
孟为民
鞠瑜华
严先蔚
张昭勇
关键词:
微电子机械系统
MEMS
CAD
多晶硅热驱动微执行器的热流模型及数值模拟
被引量:4
2001年
首先建立了一个横向热驱动微执行器的热流模型。由于这个模型比较全面地考虑了热传导、空气自然对流和辐射散热等各种因素 ,因而较为正确地反映器件的温度分布。用合适的数值算法计算了温度分布 ,温度分布的结果可以作为进一步计算器件热应力和位移的基础。最后 。
匡一宁
黄庆安
关键词:
多晶硅
数值模拟
微执行器
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