王韬
- 作品数:54 被引量:11H指数:2
- 供职机构:电子科技大学更多>>
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- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信理学文化科学更多>>
- 一种微流道散热器的制备方法
- 本发明属于微尺度散热领域,具体涉及一种微流道散热器的制备方法。本发明采用激光刻蚀技术,在基片上直接刻蚀形成微流道沟槽,利用激光刻蚀一次成型,且能直接形成有益的微流道沟槽内表面起伏结构;并且可通过控制激光的能量、扫描间隔、...
- 王韬李秋燕吴传贵
- 文献传递
- 一种高灵敏度的电容式湿度传感器被引量:4
- 2022年
- 湿度在日常生活工作中与人们息息相关,而电容式湿度传感器更是被广泛应用在食品检测、环境监控、生物医疗及工业生产等各个领域中,但是存在诸多不足之处,例如灵敏度不高、稳定性差、器件尺寸大等问题。为了应对电容式湿度传感器的这些问题,提供了一种优化设计,设计了一种MEMS电容式湿度传感器,在半导体工艺中,引入Mo金属层,作加热层和遮蔽电极层,从而减小湿滞和传感器寄生电容,感湿材料上选择含氟PI,进而提高传感器灵敏度。通过传感器湿度特性分析,证明了该湿度传感器有着灵敏度高、重复性好、湿滞效应小且器件尺寸小的优点。
- 陈果唐诚王忠秀王韬
- 关键词:半导体工艺
- 一种二值忆阻器的神经网络芯片
- 本发明涉及计算机与电子信息技术领域,具体涉及一种二值忆阻器的神经网络芯片。本发明利用忆阻器具有的开关比,即存在高低两种阻态,与二值化神经网络结合起来以在不同材料的忆阻器上完成存储和运算,并将其与中央处理器结合,以提高神经...
- 帅垚乔石珺彭赟吴传贵罗文博王韬张万里梁翔潘忻强
- 文献传递
- 基于多源数据的热能优化输出装置及优化方法
- 本发明公开了基于多源数据的热能优化输出装置及优化方法,包括产热设备,所述产热设备的一侧设置有第一水泵,所述第一水泵的进口连通有出水管,所述出水管远离第一水泵的一端与产热设备的出水口相连通,所述第一水泵的出口连通有输水管,...
- 陈果刘正波王韬
- 一种压电薄膜纵向有效压电系数的测量方法
- 本发明属于材料测试技术领域,具体涉及了一种压电薄膜纵向有效压电系数的测量方法。本发明基于不同电压激励下光纤激光干涉式PFM测量所得压电响应,用简谐振动模型描述探针‑样品振动行为,以减小热噪声的干扰和频率依赖性,利用简谐振...
- 彭斌孟奔阳曾慧中王韬张万里
- 一种基片自对准键合方法
- 本发明涉及一种图案化SiO<Sub>2</Sub>薄膜表面液体张力调控技术,利用亲水性实现基片自对准键合,具体为一种基片自对准键合方法。本发明采用NaOH去除光刻胶,同时将刻蚀后在空气中被氧化的Si形成的SiOx去除掉提...
- 王韬万江汤正杰
- 文献传递
- 一种耦合区改进型的微环谐振器及其制作方法
- 本发明提供一种耦合区改进型的微环谐振器及其制作方法,属于集成光学领域。该器件包括衬底1、键合层2、直波导4、介质层6、跑道型波导7,所述键合层2设置于衬底1上方,所述介质层6设置于键合层2上方,所述直波导4设置于介质层6...
- 帅垚乔石珺高琴吴传贵罗文博王韬张万里
- 文献传递
- 一种集成温度传感器的微流道自适应散热系统
- 一种集成温度传感器的微流道自适应散热系统,属于热管理领域。该散热系统包括压电微泵、微流道散热器、数据采集器、函数发生器、电压放大器和自适应控制器;自适应控制器控制数据采集器采集微流道散热器内温度传感器的电阻值,电阻值转化...
- 王韬安春全吴传贵
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- 一种用于光互联的具有模斑转换功能的片上边缘耦合器
- 本发明属于集成光学领域,具体涉及一种用于光互联的具有模斑转换功能的片上边缘耦合器,用于光学器件边缘实现光互联,例如用于将光纤耦合到光学微环谐振器。本发明通过采用的的双层正反双锥的过渡结构,使得光场从包层向芯层脊形和平板层...
- 帅垚乔石珺高琴罗文博吴传贵王韬杨小妮
- 文献传递
- 一种集成温度传感器的微流道散热器
- 本发明属于一种微流道器件,具体涉及一种集成温度传感器的微流道散热器。包括微流道盒体、键合层、微流道盖体、冷却液入口、冷却液出口、微流道沟槽和温度传感器。本发明实现温度传感器在微流道散热器内部一体化集成,集成的温度传感器位...
- 王韬王杰军吴传贵罗文博帅垚张万里
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