张万里
- 作品数：563 被引量：644H指数：12
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- 一种石墨烯基异质结场效应晶体管、制备方法及其集成电路
- 本发明公开了一种石墨烯基异质结场效应晶体管、制备方法及其集成电路，属于半导体器件技术领域。其包括：衬底、栅电极、电介质层、石墨烯层、源电极和漏电极，还包括：氧化物半导体层，且氧化物半导体层设置在石墨烯层与源电极和漏电极之...
- 钱凌轩邢志阳张怡宇李雪松张万里
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- 一种微波/射频微机械开关及其制备方法
- 本发明提供的一种微波/射频微机械开关，它包括：锚位(1)，基底(2)，第一信号线(5)，悬臂梁(6)，接触金属层(7)，第二信号线(8)，其特征是它还包括外加磁场导线(9)、磁致伸缩层(10)；在基底(2)上锚位(1)、...
- 张万里蒋洪川彭斌张文旭杨仕清张金平
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- 铁电薄膜/缓冲层/半导体集成器件及制备方法
- 铁电薄膜/缓冲层/半导体集成器件及制备方法，涉及微电子材料和异质结构半导体技术领域。本发明包括半导体衬底基片和铁电薄膜，衬底基片和铁电薄膜之间设置有纳米缓冲层。本发明具有不同ZnO缓冲层厚度的异质结构表现出不同的电容-电...
- 朱俊郝兰众吴志鹏李言荣张万里
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- 近场微波显微镜软接触模式测量介电常数的研究
- 2020年
- 近场微波显微镜测试样品介电常数依赖于针尖与样品的距离,准确控制针尖与样品距离是准确测试介电常数的基础.基于谐振腔谐振频率随针尖-样品距离接近曲线的探究,本文提出了一种准确实现探针与样品软接触的方法,采用软接触模式测量了一系列已知介电常数样品的谐振频率,并对所得的谐振频率-介电常数曲线进行拟合.结果表明,实验结果与理论非常吻合,拟合所得空载谐振频率也与实验一致.本文建立的软接触方法可准确控制针尖与样品的距离,实现介电常数的定量化准确测试.
- 黄和彭斌曾慧中鞠量张万里
- 关键词：软接触介电常数
- 一种制备二硫化铼薄膜的方法
- 本发明公开了一种制备二硫化铼薄膜的方法，属于新型二维纳米材料制备领域。本发明将硫粉、二硫化铼粉末和目标基底分别置于真空管式炉的炉膛前端、炉膛中心和炉膛后端，在真空条件下，通入氩气作为工作气体；通过控制加热带温度，使得硫粉...
- 陈远富戚飞郑斌杰李萍剑周金浩王新强张万里
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- 非制冷红外探测器用BST薄膜的制备与性能研究
- 利用传统陶瓷工艺制备出BST(65/35)倒筒靶,采用射频溅射法沉积薄膜。开展了对Pt/Ti/SiO2/Si基底热处理工艺与BST同质缓冲层研究,总结出了可以确保基底界面性能良好、BST薄膜结构致密的工艺方法。介电性能测...
- 吴传贵刘兴钊张万里李言荣
- 关键词：BST薄膜射频溅射红外探测器
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- 一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器
- 一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，属于薄膜传感器技术领域。所述薄膜温度传感器包括设置于涡轮叶片和热障涂层之间的薄膜热电偶敏感层，所述薄膜热电偶敏感层由N个薄膜热电偶正负极依次串联得到，所述热障涂层覆盖薄膜热电偶的...
- 赵晓辉谢锦华刘洋邵磊蒋洪川张万里
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- 一种全集成型风速传感器
- 本发明属于电子材料与元器件技术领域，提出了一种全集成型风速传感器。由基板、两个相同的超声波发生模块和两个相同的超声波接收模块构成。基板由Si衬底，Si衬底键合层和集成电路构成；超声波接收模块由接收Si柱，制备孔，方孔，上...
- 罗文博陈留根吴勤勤俞玉澄吴传贵帅垚张万里
- PdCr薄膜电阻应变计研制及其高温应变敏感性能研究
- 在航空航天以及核电领域中,准确测量高温部件的应变、疲劳等结构参数十分重要,对满足高温应用环境的高温应变计需求非常迫切.本研究在镍基合金基底上研制了PdCr薄膜电阻应变计,依次在基片上沉积NiCrAlY作为过渡层来增强附着...
- 刘豪蒋书文蒋洪川赵晓辉张万里
- 一种近场微波显微镜介电常数测量标定的软接触实现方法
- 一种近场微波显微镜介电常数测量标定的软接触实现方法，属于近场微波显微镜的测试领域。采用至少3个已知介电常数的样品进行软接触测试，得到各样品在软接触时的谐振频率，然后通过拟合的方式得到常数A与f<Sub>0</Sub>，完...
- 彭斌黄和曾慧中张万里鞠量
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