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张书明
作品数:
5
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院西安光学精密机械研究所
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相关领域:
电子电信
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机械工程
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合作作者
侯洵
中国科学院西安光学精密机械研究...
赛小峰
中国科学院西安光学精密机械研究...
孙长印
中国科学院西安光学精密机械研究...
高鸿楷
中国科学院西安光学精密机械研究...
朱李安
中国科学院西安光学精密机械研究...
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1996
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抗反射膜SiN的热退火特性
被引量:3
1995年
本文研究了PECVD抗反射膜SiN的热退火特性。测量结果表明,经过制备GaAs透射光阴极的热压粘结工艺的热退火处理SiN薄膜的折射率增加了约0.1,薄膜厚度减少了约15%。IR透射谱分析表明,这是由于退火后膜中H的释放而引起化学键比例变化所致。此项工作为透射式GaAs光阴极抗反射膜的设计和制备提供了依据。
张书明
赛小峰
侯洵
关键词:
热退火
抗反射膜
氮化硅
NEA GaAs光电阴极激活工艺研究
1996年
本文报道了 GaAs 反射式光电阴极的激活工艺过程和结果.通过实验确定了 GaAs表面的热清洁温度,利用钼丝热辐射加热方法达到了比较理想的清洁效果,采用铯分子源和高纯氧作氧源获得了高于1000μA/1m 的激活积分灵敏度.
张书明
孙长印
朱李安
赛小峰
程昭
何益民
高鸿楷
侯洵
关键词:
光电阴极
砷化镓
GaAs光电阴极片原子级表面清洁方法的研究及评价
1996年
本文对GaAs光电阴极片UHV系统中原子级表面清洁方法做了研究,它们是:光加热法、直接加热法、离子轰击加退火法、热子加热法,表面清洁效果用装于UHV系统中间在线俄歇检测,表面质量用Aa/GaAuger峰高进行比较,指出两种用于第三代象增强器光电阴极的表面清洁方法:CS-离子轰击加退火法和热子背加热法。
孙长印
张书明
马秀玲
侯洵
关键词:
砷化镓
光电阴极
GaAs光电阴极制备工艺的俄歇分析
1996年
我们在一台制作第三代象增强器的超高真空系统中安装了俄歇(Auger)能谱仪,以其对GaAs光电阴极的制备过程进行在线监测分析,其中包括选择性腐蚀过程的俄歇观测,阴极激活前清洁措施的效果评价和Cs-O激活过程中As/Ga俄歇信号比对光电灵敏度的影响,Cs源纯度的分析及对光电发射的影响。根据分析结果,激活出了1000μA/lm的反射式光电阴极和500μA/lm的透射式光电阴极。
孙长印
张书明
朱李安
赛小峰
高鸿楷
侯洵
关键词:
光电阴极
俄歇分析
第三代像增强器的研究
张书明
关键词:
像增强器
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