2024年11月17日
星期日
|
欢迎来到营口市图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
周瑞
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
江西农业大学
更多>>
发文基金:
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
电子电信
更多>>
合作作者
杨卫平
江西农业大学
夏清华
江西农业大学
刘曼利
江西农业大学
侯军峰
江西农业大学
曹吉星
江西农业大学
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
3篇
专利
1篇
学位论文
领域
1篇
电子电信
主题
2篇
抛光
2篇
抛光表面
2篇
抛光机
2篇
抛光加工
1篇
单晶
1篇
单晶硅
1篇
单晶硅片
1篇
电主轴
1篇
研磨
1篇
硬脆性材料
1篇
声波发生器
1篇
抛光硅片
1篇
球轴承
1篇
轴承
1篇
主轴
1篇
磨粒
1篇
机身
1篇
硅片
1篇
半导体
1篇
半导体材料
机构
4篇
江西农业大学
作者
4篇
周瑞
3篇
杨卫平
2篇
刘曼利
2篇
夏清华
1篇
郭俊
1篇
曹吉星
1篇
侯军峰
年份
3篇
2015
1篇
2013
共
4
条 记 录,以下是 1-4
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
超声椭圆振动辅助抛光硅片表面形貌与材料去除仿真
集成电路(Integrate Circuit)作为电子产品的主要部件,其主要基底材料—单晶硅片的加工质量,在一定程度上影响着电子产品的性能。目前,由于电子产品性能越来越好,对IC的集成度也提出了更高的要求,要求硅片的刻蚀...
周瑞
关键词:
半导体材料
单晶硅片
超声振动
多轨迹多功能磁力研磨机
一种多轨迹多功能磁力研磨机,多轨迹多功能磁性研磨机,包括机身、X轴步进电机、Y轴步进电机、Z轴步进电机、研磨平台、基础平台,机身上设有X、Y、Z轴运动机构,Y轴运动机构和Z轴运动机构设在机身上端,X轴运动机构设在机身底座...
杨卫平
侯军峰
周瑞
曹吉星
郭俊
文献传递
变轨迹-超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机
本实用新型涉及一种变轨迹-超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机,其包括:动力部分、抛光部分、传动部分和超声波发生器部分。动力部分驱动传动部分和抛光部分的运动,抛光部分包括抛光工作台、旋转抛光工具,所述动力部分包括X轴、Y轴、Z...
杨卫平
夏清华
周瑞
刘曼利
文献传递
变轨迹—超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机
本发明涉及一种变轨迹-超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光机,其包括:动力部分、抛光部分、传动部分和超声波发生器部分。动力部分驱动传动部分和抛光部分的运动,抛光部分包括抛光工作台、旋转抛光工具,所述动力部分包括X轴、Y轴、Z轴方...
杨卫平
夏清华
周瑞
刘曼利
文献传递
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张