陶逢刚
- 作品数:31 被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金四川省青年科技基金国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术兵器科学与技术电子电信文化科学更多>>
- 多层垫片式引信防护结构抗冲击性能仿真被引量:2
- 2021年
- 针对目前多层垫片式引信防护结构缺少理论研究,仿真模型简单,没有考虑防护结构抗冲击性能的问题,提出多层垫片式引信防护结构抗冲击性能的数值模型及仿真方法,分析不同工况下弹体侵彻多层靶板时多层垫片式引信防护结构的抗冲击性能。该方法建立了多层垫片式引信防护结构的弹体侵彻模型,可以模拟引信防护结构在高速侵彻下的冲击响应。仿真结果表明,目前常用的多层垫片式引信防护结构的抗冲击性能在弹体多次冲击素混凝土靶板时表现较好,在弹体以高初速度多次冲击金属靶板时防护结构易发生失效。
- 陈键牛少华唐彬陶逢刚孙远程刘天国张美云
- 关键词:应力波侵彻LS-DYNA
- MEMS交叉梳齿光栅设计和优化
- 2011年
- 采用MEMS技术设计和制造了一种由梳齿驱动器驱动的新型交叉梳齿光栅,同时优化了该光栅的驱动器结构,着重分析了优化驱动器结构对光栅机械特性和光学传感特性的影响,优化后的光栅相对于未优化时具有更大的位移、更好的光学传感特性。基于PolyMUMPs工艺制作了梳齿驱动器驱动交叉梳齿光栅,并逐步分析了该光栅的加工步骤。结合有限元分析软件,对该MEMS光栅的机械特性进行了分析。分析结果表明,在85V下,该光栅驱动器的位移为2.7μm,而实际测量的位移为2.1μm。通过对该光栅驱动器结构进行优化,得到在同等电压下优化后的光栅驱动器位移较未优化时有显著提高,在85V时,优化后的MEMS光栅驱动器的位移为4.3μm。根据傅里叶光学理论计算得到,该光栅的传感灵敏度与驱动器位移成正比,经过计算得到优化后MEMS光栅的光学传感曲线更加陡峭,具有更好的传感特性。
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- 一种半球万向敏感压电冲击传感器
- 本发明涉及一种半球万向敏感压电冲击传感器。该半球万向敏感压电冲击传感器通过电射流微纳打印技术,将所述半球陶瓷厚膜打印至所述半球底座的半球表面;所述半球陶瓷厚膜与所述半球底座为一体化结构。采用本发明所提供的半球万向敏感压电...
- 唐彬陶逢刚刘天国刘显学王支荣王大志熊壮
- 文献传递
- 一种集成一体化压电传感器
- 本实用新型公开了一种集成一体化压电传感器,涉及传感器技术领域。本实用新型包括封装外壳(4)、压电敏感元件(2)、盖板(1)和接口处理芯片(3),其特征在于:所述压电敏感元件(2)压紧在封装外壳(4)上;所述接口处理芯片(...
- 刘天国赵宝林张德陶逢刚
- 文献传递
- 敏感结构及加速度传感器
- 本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括边框,边框形成有第一容置空间;外隔离岛,外隔离岛设置于第一容置空间中且固定于边框,外隔离岛形成有第二容置空间;内隔离岛,内隔离岛设置于第二...
- 陶逢刚谢晋刘显学赵宝林熊壮杨杰王旭光
- 一种压电式微加速度传感器
- 本发明提供了一种压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板;其中,敏感芯片采用结构对称的环状结构,共包含八个上电极、八个下电极、八个压电层、支撑膜、质量块。所述的八个下电极置于支撑膜之上,八个压电层置于...
- 孙远程姚明秋苏伟唐彬陶逢刚曲兵兵
- 文献传递
- 一种基于键合工艺的三层连续面型MEMS变形镜的制作工艺
- 一种基于键合工艺的三层连续面型MEMS变形镜的制作工艺,主要包括在SOI晶片上表面干法刻蚀出释放孔,将SOI晶片中间氧化层进行部分释放,对SOI晶片下表面进行湿法刻蚀,并在另一块基片(硅片或玻璃上)上沉积金属作为电极结构...
- 姚军任豪陶逢刚邱传凯
- 文献传递
- 高灵敏度多层压电陶瓷传感器设计
- 传感器是自动检测和自动控制系统中的关键器件,压电传感器作为传感器中的重要分支,已在消费电子、工业控制、系统监测、国防军事等领域中广泛应用.基于低温共烧陶瓷技术的多层压电陶瓷元件具有极高的压电常数、小型化的体积、批量化生产...
- 刘天国张德赵宝林陶逢刚
- 关键词:优化设计固有频率
- 新型分立倾斜式微变形镜研究被引量:5
- 2011年
- 基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺,提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计,并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对应一个驱动器,实现了连续面形的分立驱动,并且可有效释放工艺过程中产生的残余应力,从而降低镜面的翘曲。基于弹性理论对该变形镜的电压位移关系以及谐振频率进行了数值计算,并利用有限元软件对其进行了仿真,同时采用光学轮廓仪对样品进行了测试。实验结果表明,所制作的变形镜阵列可实现平移和倾斜运动,在3.75 V电压下可达到0.76μm的行程,与理论分析和模拟仿真结果一致。与传统分立倾斜式变形镜相比,该新型分立倾斜式变形镜具有较低的驱动电压、较少的驱动器数量,适用于集成度高且与集成电路(IC)单片集成的变形镜设计。
- 汪为民陶逢刚颜胜美张建飞姚军
- 关键词:光学器件变形镜微机电系统驱动器
- 一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法
- 本发明公开了一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法,涉及传感器技术领域。本发明包括质量块和压电敏感元件,所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出...
- 赵宝林刘显学刘天国陶逢刚
- 文献传递