汪为民
- 作品数：37 被引量：35H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金四川省青年科技基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 一种基于电磁驱动的微开关阵列及其制作方法
- 本发明公开了一种基于电磁驱动的微开关阵列及其制作方法，所述微开关阵列由永磁铁阵列，侧面挡光壁阵列，加工有线圈阵列的柔性电路板以及柔性电路板基底组成。其中，永磁铁阵列和侧面挡光壁阵列相互正交组成方形栅格，并在方形栅格内产生...
- 方亮冯强涛汪为民
- 基于磁束缚模式相消干涉的类EIT超材料被引量：3
- 2018年
- 提出一种具有电磁诱导透明(EIT)效应的太赫兹超材料。该结构单元由非对称排布的2对双金属线(a CWs)组成。当入射电场为垂直极化时,所提结构在0.580 8 THz附近产生磁束缚模式的相消干涉,形成一个Q值较高的异常透明峰。在单元中加入开口谐振环(SRR),SRRs与非对称双金属线对之间产生干涉,形成新的透明峰。加入SRRs后,2对双金属线干涉产生的透明峰的传感特性得到改善。仿真表明,aCWs以及其与SRRs组合而成的结构(a CWs/SRRs)可用于太赫兹的单频带通滤波、双频滤波以及传感。
- 唐雨竹马文英魏耀华汪为民
- 关键词：电磁诱导透明超材料太赫兹Q值
- 新型分立倾斜式微变形镜研究被引量：5
- 2011年
- 基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺,提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计,并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对应一个驱动器,实现了连续面形的分立驱动,并且可有效释放工艺过程中产生的残余应力,从而降低镜面的翘曲。基于弹性理论对该变形镜的电压位移关系以及谐振频率进行了数值计算,并利用有限元软件对其进行了仿真,同时采用光学轮廓仪对样品进行了测试。实验结果表明,所制作的变形镜阵列可实现平移和倾斜运动,在3.75 V电压下可达到0.76μm的行程,与理论分析和模拟仿真结果一致。与传统分立倾斜式变形镜相比,该新型分立倾斜式变形镜具有较低的驱动电压、较少的驱动器数量,适用于集成度高且与集成电路(IC)单片集成的变形镜设计。
- 汪为民陶逢刚颜胜美张建飞姚军
- 关键词：光学器件变形镜微机电系统驱动器
- 基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析被引量：1
- 2015年
- 静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响。设计并利用表面硅工艺加工制作了三种基于不同弹性系数的静电平行板驱动器的MEMS变形镜,分别采用解析公式和有限元仿真方法分析了弹性系数对变形镜的三项性能参数即行程、吸合电压和固有频率的影响,并利用白光表面轮廓仪进行实验测试,验证了理论和仿真结果的有效性。实验结果表明三种变形镜中半圆环梁驱动器变形镜具有适中的吸合电压和较大的行程,最适合于自适应光学系统的应用需求。
- 汪为民王强邱传凯陈泽祥范斌
- 关键词：MEMS变形镜
- 金属纳米结构对光谱响应及折射率灵敏度的影响被引量：3
- 2012年
- 推导了任意形状金属纳米结构对复杂环境折射率的局域表面等离子体共振(LSPR)光谱响应的解析解,给出了体折射率和局部折射率灵敏度公式,并进行了详细的理论分析和数值验证。结果表明,金属纳米结构的光谱响应与被分析物厚度呈指数增长关系,并与被分析物的折射率、敏感层厚度、金属纳米结构的材料和形状等因素有关。被分析物折射率越高,光谱响应越大。敏感层越厚,局部折射率灵敏度越差。同时,尖锐的金属纳米结构形状可以获得更大的体折射率灵敏度。对金属纳米结构光谱响应及折射率灵敏度的研究对制作高灵敏度LSPR传感器具有重要的指导意义。
- 马文英罗吉许诚昕凌味未汪为民
- 关键词：传感器
- MEMS交叉梳齿光栅设计和优化
- 2011年
- 采用MEMS技术设计和制造了一种由梳齿驱动器驱动的新型交叉梳齿光栅,同时优化了该光栅的驱动器结构,着重分析了优化驱动器结构对光栅机械特性和光学传感特性的影响,优化后的光栅相对于未优化时具有更大的位移、更好的光学传感特性。基于PolyMUMPs工艺制作了梳齿驱动器驱动交叉梳齿光栅,并逐步分析了该光栅的加工步骤。结合有限元分析软件,对该MEMS光栅的机械特性进行了分析。分析结果表明,在85V下,该光栅驱动器的位移为2.7μm,而实际测量的位移为2.1μm。通过对该光栅驱动器结构进行优化,得到在同等电压下优化后的光栅驱动器位移较未优化时有显著提高,在85V时,优化后的MEMS光栅驱动器的位移为4.3μm。根据傅里叶光学理论计算得到,该光栅的传感灵敏度与驱动器位移成正比,经过计算得到优化后MEMS光栅的光学传感曲线更加陡峭,具有更好的传感特性。
- 张恒姚军庄须叶陶逢刚汪为民
- 环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜
- 2016年
- 微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和1.191kHz的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。
- 马文英魏耀华汪为民王强
- 关键词：微光机电系统旋转角
- 一种提高分立式微变形镜填充因子的方法
- 本发明公开了一种提高分立式微变形镜填充因子的方法，包括一个微缩束镜阵列和一个分立式微变形镜。其特征在于微缩束镜阵列与分立式微变形镜具有相同的单元间距，入射光经过微缩束镜阵列之后被分割并缩束，形成一个光斑阵列，再入射到变形...
- 汪为民周崇喜李国俊王强邱传凯岳衢
- 文献传递
- 一种新型弹性支撑结构的分立式微变形镜设计
- 变形镜是自适应光学系统中不可或缺的波前校正器,基于MEMS技术的微变形镜是目前一个非常有前途的发展方向,它具有驱动电压低、易于系统集成、成本低廉等优点。本文基于表面硅工艺设计了一种新型弹簧支撑静电吸引型12单元分立式微变...
- 汪为民庄须叶颜胜美陈科帆姚军
- 一种三维MEMS扫描镜
- 本发明提供的三维MEMS扫描镜，应用于微机电系统技术领域，包括镜片和二维扫描机构，所述镜片包括镜片本体和电控形变层，电控形变层覆盖镜片本体上的预设区域，并且电控形变层的控制端与控制电源相连，根据接收的电流或电压，电控形变...
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