谢辉
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
- 发文基金：河北省科学技术研究与发展计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 四探针和EIT测试微区薄层电阻的研究与进展被引量：6
- 2007年
- 论述了一种测试大型硅片电阻率均匀性的新方法———电阻抗成像技术(EIT)。给出了四探针的基本原理,指出EIT的基本思想来源于四探针技术。对EIT的基本原理和重建算法在理论上进行了描述,提出可将其应用于微区薄层电阻测试,并对EIT在大型硅片微区薄层电阻率均匀性测试技术上的系统应用做了进一步探索。
- 谢辉刘新福贾科进闫德立田建来
- 关键词：电阻抗成像微区薄层电阻
- 基于EIT技术的微区薄层电阻无接触测试技术研究被引量：1
- 2006年
- 论述了用无接触方法测试大型硅片电阻率均匀性的新方案.回顾了EIT技术的发展与成果,对其基本原理和重建算法在理论上进行了描述,提出可将其应用于微区薄层电阻测试,并就测试细节做了进一步探索,最后就其应用前景作了展望.这一技术与传统的四探针技术相比,不仅在理论上将有相同的分辨率,并且具有快速,不损坏硅片的特点.
- 谢辉高强刘新福
- 关键词：逆问题薄层电阻
