卞玉民
- 作品数：18 被引量：73H指数：6
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
- MEMS汽车空气流量计
- 王玉奎卞玉民许鹏王利芹任倩婷赵彦停李志明高振宁苏日丽高素芝董晓亮
- 该课题关键技术和创新点：（1）采用自主研发的MEMS流量检测芯片，开发的汽车空气流量计具有结构紧凑、功耗低、响应快、测量精确等优点。（2）建立了完整的空气流量计失效与流体仿真模型，对流量检测芯片、调理电路、进气流道结构进...
- 关键词：
- 关键词：空气流量计燃油喷射装置
- 低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法被引量：2
- 2015年
- 提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比,本方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.58 kHz和0.015,扫频测试方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.66 kHz和0.005。结果显示,该方法所得结果具有较好的精度,并具有操作简单、快速、重复性好及系统搭建成本低等优点。该方法已应用于汽车碰撞用MEMS压阻加速度传感器的生产,作为检测和筛选的测试手段。
- 张旭辉徐爱东卞玉民
- 关键词：压阻加速度传感器汽车碰撞阻尼比
- 一种MEMS高温压力传感器被引量：9
- 2016年
- 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行了设计,完成了芯片的加工。设计了传感器耐高温封装结构,完成了传感器的初级封装。最后,对常规MEMS压力传感器及研制的高温压力传感器的基本性能、电阻温度特性、漏电流温度特性进行了测试和对比,实验结果表明研制的高温压力传感器能够耐受350℃的高温。
- 王伟忠何洪涛卞玉民杨拥军
- 关键词：压力传感器压阻效应
- MEMS压阻式汽车碰撞传感器频率特性的一种快捷评估方法
- 本文介绍了一种MEMS压阻式汽车碰撞传感器频率特性的快捷评估方法，可快速获得传感器的谐振频率和阻尼比等信息。该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比，结果显示，该方法具有操作简单、快速、系统搭建成本低并且具...
- 张旭辉卞玉民吝海锋
- 关键词：频率特性扫频测试阻尼比
- 硅MEMS惯性传感器研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 关键词：MEMS加速度传感器
- 文献传递
- 一种导弹触发引信用微机械惯性敏感装置被引量：2
- 2009年
- 为适应小型化、模块化需要,应用微机械加速度传感器设计了集成化的触发引信惯性敏感装置。介绍该装置的结构组成、基本工作原理,特别重点介绍了微机械加速度传感器的结构设计、加工工艺流程。通过冲击动作特性、环境适应性、电路匹配性、高速碰撞验证等试验验证,结果表明该装置性能满足触发引信的安全性和作用可靠性要求,具有良好的应用前景。
- 刘勇涛卞玉民唐尚华
- 关键词：导弹引信微机械触发引信
- 硅MEMS惯性传感器的研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况。主要有已定型的±50g MEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 文献传递
- 第一部分:微机械惯性仪表研制与应用 硅MEMS惯性传感器研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±50gMEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 文献传递
- Si微电容式加速度计动态参数的提取
- 2008年
- 介绍了一种电容式微Si加速度计的基本结构以及静电激振法用于电容加速度计动态参数测试的基本原理。提出了在开环条件下,采用静电激振法对该类型电容加速度计动态参数测试的电路方案。通过分析获得了扫频特性曲线和阶跃响应曲线,得到了传感器的固有频率、阻尼比。试验结果表明,采用静电激振法得到的结果与传感器设计值比较接近。可以认为,开发的动态参数测试系统是快速且有效的。
- 郑锋卞玉民
- 关键词：微机电系统加速度计电容动态参数
- MEMS压阻加速度传感器阻尼特性研究被引量：8
- 2008年
- 研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响,建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型,分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系,通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的。根据分析结果设计了三明治结构封装的传感器,应用有限元仿真软件,对传感器的应力和应变进行了仿真计算,完成传感器结构参数设计;采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装工艺,制作了MEMS压阻加速度传感器。测试结果表明,采用三明治结构封装形式,可以控制压阻加速度传感器的阻尼特性,为提高传感器性能提供了途径。
- 卞玉民郑锋何洪涛
- 关键词：压阻加速度传感器阻尼圆片级封装
