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北京七星华创电子股份有限公司

作品数:1,319 被引量:203H指数:8
相关作者:吴仪董金卫张豹徐冬裴立坤更多>>
相关机构:信息产业部北方工业大学燕山大学更多>>
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相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程文化科学更多>>

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吴仪
作品数:163被引量:3H指数:1
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董金卫
作品数:105被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
作品数:82被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐冬
作品数:78被引量:4H指数:1
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 承载器 半导体 异常状态 半导体设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
作品数:66被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
作品数:61被引量:82H指数:6
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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赵星梅
作品数:59被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
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王广明
作品数:57被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 硅 传输线 太阳能 硅太阳能电池
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏宇
作品数:54被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广旭
作品数:53被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 传输线 硅 硅太阳能电池 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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