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北京北仪创新真空技术有限责任公司
作品数:
108
被引量:94
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董欣
刘敏强
陈素君
杨静
安其
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董欣
作品数:18
被引量:0
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供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:分子泵 涡轮 静叶片 转子体 转子
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刘敏强
作品数:12
被引量:9
H指数:2
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:分子泵 抗大 转子 节能灯 抽速
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陈素君
作品数:11
被引量:10
H指数:2
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:分子泵 主泵 真空系统 真空镀膜设备 低温泵
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所获资助
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杨静
作品数:11
被引量:6
H指数:1
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:真空系统 油扩散泵 分子泵 主泵 低温泵
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安其
作品数:8
被引量:6
H指数:2
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:PECVD 非晶硅 太阳能电池 等离子体增强 微晶硅
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袁永旭
作品数:5
被引量:0
H指数:0
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:坩埚 电子枪 冷却装置 出水口 步进电机
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侯荣华
作品数:5
被引量:0
H指数:0
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:镀膜 有害气体 挡板 大气污染 磁力传动
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彭俊杰
作品数:5
被引量:0
H指数:0
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:静配合 维护维修 定位装置 转子轴 轴向
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朱秀明
作品数:5
被引量:0
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供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:分子泵 转子叶片 转子 叶片 挡板
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王燕
作品数:4
被引量:0
H指数:0
供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司
研究主题:镀膜 挡板 拆卸 分子泵 阀体
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