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中国科学院微电子研究所

作品数：17,767 被引量：8,006H指数：22
相关作者：刘明朱慧珑陈岚刘新宇叶甜春更多>>
相关机构：真芯(北京)半导体有限责任公司中国科学院大学中国科学院更多>>
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共 1,809 条 记 录，以下是 1-10
刘明
作品数：1,361被引量：405H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱慧珑
作品数：1,188被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈岚
作品数：897被引量：164H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘新宇
作品数：876被引量：299H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 ALGAN/GAN
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
作品数：838被引量：656H指数：10
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷华湘
作品数：733被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
作品数：674被引量：449H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩郑生
作品数：652被引量：237H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 建模方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹海洲
作品数：522被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 半导体结构 沟道 鳍片 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海英
作品数：521被引量：213H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：频率综合器 单片集成 脉搏波 GAAS 砷化镓
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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