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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室

作品数：100 被引量：217H指数：8
相关作者：薛丽君李金儒汤跃科易里成荣胡勇更多>>
相关机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心安徽大学电子信息工程学院兰州大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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合作机构

领域

  • 46个电子电信
  • 38个自动化与计算...
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  • 10个环境科学与工...
  • 10个医药卫生
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主题

  • 29个纳米
  • 29个光刻
  • 23个电子束光刻
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  • 15个英文
  • 13个碳纳米管
  • 12个电子束曝光

机构

  • 53个中国科学院微...
  • 25个安徽大学
  • 22个中国科学院
  • 21个中国工程物理...
  • 17个兰州大学
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  • 11个北京工业大学
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  • 10个长春理工大学
  • 10个湖南大学
  • 10个南开大学
  • 10个北京航空航天...
  • 9个北京应用物理...
  • 9个河北师范大学
  • 8个成都理工大学

作者

  • 38个刘明
  • 27个陈宝钦
  • 25个谢常青
  • 25个龙世兵
  • 23个朱效立
  • 22个叶甜春
  • 22个陈军宁
  • 18个王琴
  • 17个张满红
  • 17个刘璟
  • 17个王永
  • 17个赵珉
  • 16个杨潇楠
  • 16个牛洁斌
  • 16个代月花
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  • 15个马杰
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  • 12个涂德钰
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传媒

  • 39个微纳电子技术
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  • 17个物理
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  • 15个电子器件
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  • 12个光电工程
  • 11个光电子．激光
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  • 11个电子与信息学...
  • 10个高等学校化学...
  • 10个科学通报
  • 9个分析化学
  • 8个环境工程
  • 8个现代科学仪器
共 53 条 记 录，以下是 1-10
国家自然科学基金
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
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国家重点基础研究发展计划
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国家高技术研究发展计划
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国家自然科学基金(60825403)
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国家重点基础研究发展计划(2007CB935302)
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国家科技重大专项
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国家重点基础研究发展计划(2009CB939703)
相关领域：电气工程 自动化与计算机技术 电子电信 一般工业技术 理学
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国家自然科学基金(90607022)
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 电气工程 一般工业技术
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国家自然科学基金(60276019)
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术
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国家重点基础研究发展计划(2006CB302706)
相关领域：自动化与计算机技术 电子电信
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