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天津大学精密仪器与光电子工程学院天津市微纳制造技术工程中心

作品数：1 被引量：2H指数：1
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相关机构

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇单晶金刚石
  • 1篇无损检测
  • 1篇显微拉曼
  • 1篇显微拉曼光谱
  • 1篇离子束
  • 1篇金刚石
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱
  • 1篇光谱
  • 1篇刚石

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇陈津平
  • 1篇兀伟
  • 1篇李万里
  • 1篇徐宗伟
  • 1篇刘婷

传媒

  • 1篇分析试验室

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于显微拉曼光谱的金刚石非晶层厚度检测方法被引量：2
2014年
提出了利用激光共聚焦显微拉曼光谱仪测试非晶层厚度的方法。以单晶区与非晶区的拉曼峰值比值为研究对象,研究发现此值与非晶层厚度具有较好的相关性。方法为非晶层测量提供了一种快速、无损、廉价的定量检测途径。实验证明,对于厚度小于50 nm的非晶层,方法检测误差小于1.5 nm。
兀伟徐宗伟李万里刘婷曹克雄陈津平
关键词：拉曼光谱聚焦离子束无损检测单晶金刚石
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