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洛阳鸿泰半导体有限公司
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浙江金瑞泓科技股份有限公司
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
天津中环领先材料技术有限公司
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浙江金瑞泓科技股份有限公司
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
天津中环领先材料技术有限公司
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4篇
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1篇
2006
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一种适用于单晶硅片碱腐蚀的装置
本实用新型涉及一种适用于单晶硅片碱腐蚀的装置,包括碱液槽、能够在碱液槽中上下移动的可活动筛网、设置在可活动筛网上的多个化腐盒、抛动架和驱动机构,所述抛动架包括第一连接部、第二连接部,第一连接部的底部与可活动筛网的一侧连接...
姚剑龙
周涛
赵娜
宋亚峰
一种新型半导体硅片研磨砂浆流量泵控制面板
一种新型半导体硅片研磨砂浆流量泵控制面板,涉及硅片研磨设备辅助技术领域,由板体、轻触开关、导线和插拔板构成,在板体上设有轻触开关,轻触开关上设有导线,导线的一端与轻触开关相连接,导线的另一端与插拔板相连接,轻触开关由开关...
张自安
文献传递
一种节能型空气压缩机
一种节能型空气压缩机,由变频器、电动机、空压机、储气罐、客户端、压力变送器和接触器构成,在电动机上设有变频器、接触器和空压机,变频器和接触器分别与电源相连接,变频器上设有控制面板,空压机与储气罐通过网管相连接,储气罐与客...
李斌
文献传递
太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
本标准规定了太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷元素体含量的二次离子质谱(SIMS)检测方法。
关键词:
地震检波器
地震
检波器
一种具有N‑/N+/N+型三维结构的半导体晶圆
一种具有N‑/N+/N+型三维结构的半导体晶圆,涉及一种半导体晶圆,在半导体晶圆上设有连接层和导通层,连接层和导通层设置在半导体晶圆的任意面上,半导体晶圆是导电型号为N型的高阻区,即N‑区;连接层是导电型号为N型的高浓度...
王俊
邓建伟
沈征
文献传递
硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
本文件描述了利用两个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。本文件适用于直径不小于50mm,厚度不小于100μm的洁净、干燥的硅片,包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片,也可用于...
孙燕
蔡丽艳
贺东江
李素青
王可胜
徐新华
张海英
王振国
潘金平
曹雁
楼春兰
张雪囡
皮坤林
一种用于IGBT器件制造的三维半导体衬底晶圆及其制备方法
本发明公开一种用于IGBT器件制造的三维半导体衬底晶圆及其制备方法。该三维半导体衬底晶圆包括半导体衬底晶圆、第一导通层、第二导通层与场基层、集电层和保护层,半导体衬底晶圆的背面设有若干个阵列分布的凹槽;第一导通层设于每个...
周涛
张志林
张现磊
李立谦
一种高阻硅片自动分选的厚度检测装置及检测方法
本发明公开了一种高阻硅片自动分选的厚度检测装置及检测方法,涉及高阻硅片检测技术领域,包括底座,所述底座的表面设有传送组件,所述底座的表面设有厚度检测组件,所述底座的表面两侧对称设有电阻率检测组件,所述底座的表面设有调节组...
张志林
周涛
裴保齐
一种具有三维结构的半导体晶圆
一种具有三维结构的半导体晶圆,涉及一种半导体晶圆,由半导体晶圆、连接层、导通层和保护层构成,导通层上设有保护层,在半导体晶圆上设有连接层和导通层,连接层和导通层设置在半导体晶圆的任意面上;本发明实用性强,使用起来比较简单...
王俊
邓建伟
沈征
文献传递
一种硅片激光割圆的自动化控制装置
本实用新型属于电气控制技术领域,涉及的一种硅片激光割圆的自动化控制装置包括继电器KA和吸气电磁阀(10);继电器KA与吸气按钮(6)串联;继电器KA的常开触点串接在控制板卡(9)与激光驱动装置(11)之间、控制板卡(9)...
李斌
裴保齐
邵斌
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