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中国工程物理研究院科学技术发展基金(20111A0403017)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：彭勃施志贵张照云张慧高杨更多>>
相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所中国工程物理研究院更多>>
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地区

  • 5个四川省
  • 1个重庆市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 MEMS 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 圆片级封装 声表面波滤波器 金 共晶键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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