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国家科技重大专项(2008ZX02101-3)

作品数：4 被引量：11H指数：3
相关作者：王文东夏洋罗小晨刘邦武闫坤坤更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国石油大学（北京）中国石油大学(北京)更多>>
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地区

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
王文东
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗小晨
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫坤坤
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：碳化硼 大气等离子喷涂 喷涂制备 等离子体喷涂 等离子喷涂设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵嵩卿
供职机构：中国石油大学（北京）理学院
研究主题：脉冲激光沉积 光探测器 电压测试 探测器 光生
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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