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国家自然科学基金(60976013)
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周卫
刘志弘
张伟
孙亚宾
崔杰
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周卫
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆片 半导体制造设备 激光 半导体制造技术 激光加工
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刘志弘
供职机构:清华大学
研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 锗硅
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王玉东
供职机构:清华大学
研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 基极电阻
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张伟
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:SIGE_HBT SIGE HBT 锗硅异质结双极晶体管 低噪声
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付军
供职机构:清华大学
研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 基极电阻
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李高庆
供职机构:清华大学
研究主题:双极晶体管 锗硅异质结双极晶体管 发射极 发射区 多晶硅发射区
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胡尊刚
供职机构:清华大学
研究主题:IC制造 半导体制造 流水线 系统调度 作业调度
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严利人
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆片 半导体制造设备 激光 激光退火 半导体制造技术
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孙亚宾
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:辐照效应 剂量率 锗硅异质结双极晶体管
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崔杰
供职机构:清华大学
研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 基极电阻
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