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中国航空科学基金(20110868001)
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王凌云
杜晓辉
蔡建法
陈丹儿
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王凌云
供职机构:厦门大学
研究主题:压力传感器 电纺 键合 硅 微器件
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杜晓辉
供职机构:机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
研究主题:硅 压力传感器 微器件 谐振结构 阳极键合
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蔡建法
供职机构:厦门大学
研究主题:压电陶瓷 压力传感器 安培力 焊料 胶头
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周如海
供职机构:厦门大学
研究主题:硅 高压电源 静电纺丝技术 纤维 喷嘴
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谢文怡
供职机构:厦门大学物理与机电工程学院机电工程系
研究主题:LABVIEW 谐振频率 动态参数 微机械陀螺 阻尼比
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何杰
供职机构:厦门大学物理与机电工程学院
研究主题:大厚度 MEMS 扩散法 结构层 多步
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梁楚尉
供职机构:厦门大学
研究主题:夹紧 活塞杆 控制器 螺钉 涡流
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杨争雄
供职机构:厦门大学
研究主题:研磨 硅片 均匀性 砝码 弹性梁
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孙道恒
供职机构:厦门大学
研究主题:电纺 高压电源 纳米纤维 喷印 喷头
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张豪尔
供职机构:厦门大学
研究主题:硼 感应线圈 硅片 加热速率 重掺杂
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