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中国博士后科学基金(20090450387)
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梁林泉
董立立
段广洪
朱煜
牛小铁
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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董立立
供职机构:北京工业职业技术学院
研究主题:故障诊断 灰预测 GM(1,1) 光刻机 基台
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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梁林泉
供职机构:中国人民解放军军械工程学院
研究主题:机械优化 数学模型 优化设计 超精密 机械结构
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牛小铁
供职机构:北京工业职业技术学院
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