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国家重点基础研究发展计划(2004CB318007)
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6
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朱煜
李恒
贾松涛
程嘉
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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李恒
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:精密工作台 扰动观测器 气浮导轨 运动轨迹规划 超精密
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贾松涛
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 微动工作台 精密工作台 气浮
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程嘉
供职机构:清华大学
研究主题:纳米发电机 静电 卡盘 静电力 摩擦起电
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王春洪
供职机构:清华大学
研究主题:PID自整定 高温氧化 扩散炉 温度控制 鲁棒性
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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王立平
供职机构:清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题:并联机床 数控机床 混联机床 静刚度 并联机构
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聂洪玮
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:运动轨迹规划
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