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国家自然科学基金(60578031)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：胡承刚田宏石建平陈献忠李海颖更多>>
相关机构：安徽师范大学中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

领域

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地区

  • 6个四川省
  • 1个安徽省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡承刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：湿法腐蚀 光刻 压模 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海颖
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测试装置 表面等离子体 分子器件 激光功率 单色仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田宏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：星敏感器 质心 发电机 星图识别 分步重复投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈献忠
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：原子束 纳米结构制作 原子光刻 原子 激光驻波场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旭南
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石建平
供职机构：安徽师范大学
研究主题：原子束 光子晶体 光刻分辨力 金属薄膜 纳米结构制作
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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