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天津市科技计划(10SYSYJC27700)

作品数：5 被引量：14H指数：2
相关作者：杨保和王芳张楷亮苏林韦晓莹更多>>
相关机构：天津理工大学天津大学更多>>
发文基金：天津市科技计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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领域

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主题

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  • 11个微结构
  • 11个磁控溅射
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  • 5个导热率
  • 5个等离子体
  • 5个电池
  • 5个电感耦合
  • 5个电感耦合等离...

机构

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资助

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  • 11个天津市高等学...
  • 10个国家高技术研...
  • 9个天津市科技支...
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传媒

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  • 2个电波科学学报
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  • 1个分析化学
  • 1个工程机械
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  • 1个硅酸盐通报
  • 1个移动通信

地区

  • 17个天津市
共 17 条 记 录，以下是 1-10
杨保和
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石 金刚石膜 声表面波器件 声表面波 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王芳
供职机构：天津大学
研究主题：存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张楷亮
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏林
供职机构：天津理工大学
研究主题：压电薄膜 工科 集成电路 磁控溅射 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王莎莎
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石表面 纳米 抛光 等离子体刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱宇清
供职机构：天津理工大学
研究主题：机电耦合系数 声表面波器件 声表面波 表面粗糙度 SAW器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李翠萍
供职机构：天津理工大学
研究主题：FBAR ZNO PF 薄膜体声波谐振器 溅射功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱莉荣
供职机构：天津理工大学
研究主题：声表面波 生物传感器 纳米金刚石 传感器 金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李翠平
供职机构：天津理工大学
研究主题：石墨烯 声表面波 敏感膜 金刚石 声表面波器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韦晓莹
供职机构：天津理工大学
研究主题：氧化钒 氧化钒薄膜 存储器 太赫兹波 聚酰亚胺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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