您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(51205226)

作品数：5 被引量：20H指数：3
相关作者：王同庆赵德文何永勇路新春门延武更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金创新研究群体科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程化学工程更多>>

领域

  • 6个金属学及工艺
  • 6个机械工程
  • 5个电子电信
  • 5个自动化与计算...
  • 5个一般工业技术
  • 4个电气工程
  • 4个文化科学
  • 3个化学工程
  • 3个建筑科学
  • 3个交通运输工程
  • 3个自然科学总论
  • 3个理学
  • 2个动力工程及工...
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个医药卫生
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...

主题

  • 6个抛光
  • 6个晶圆
  • 6个化学机械抛光
  • 6个机械抛光
  • 6个300MM晶...
  • 5个电路
  • 3个氮化
  • 3个导轨
  • 3个登录
  • 3个电机
  • 3个电控
  • 3个压力源
  • 2个氮化硅
  • 2个弹性环
  • 2个挡板
  • 2个递归
  • 2个电磁
  • 2个电化学
  • 2个电机控制
  • 2个电流

机构

  • 6个清华大学
  • 2个吉林大学
  • 1个东北大学
  • 1个东北工学院
  • 1个东南大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个东北师范大学
  • 1个辽宁大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个辽宁石油化工...
  • 1个沈阳工业大学
  • 1个中国科学院金...
  • 1个莱芜钢铁集团...
  • 1个北京首钢自动...

资助

  • 6个国家自然科学...
  • 6个中国博士后科...
  • 6个创新研究群体...
  • 5个国家科技重大...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家重点实验...
  • 2个教育部跨世纪...
  • 2个国家杰出青年...
  • 2个中央高校基本...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个河南省教育厅...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个“十一五”国...
  • 1个北京市教委重...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个河南省杰出人...

传媒

  • 5个机械工程学报
  • 5个摩擦学学报（...
  • 3个清华大学学报...
  • 3个华中科技大学...
  • 3个微纳电子与智...
  • 2个科学通报
  • 2个金属学报
  • 2个金属热处理
  • 2个机械强度
  • 2个中国机械工程
  • 2个机械工程材料
  • 2个润滑与密封
  • 2个热加工工艺
  • 2个工程力学
  • 2个中国表面工程
  • 2个中国基础科学
  • 2个材料热处理学...
  • 1个计算机集成制...
  • 1个轧钢
  • 1个材料科学与工...

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩桂全
供职机构：清华大学
研究主题：抛光垫 化学机械抛光 工作表面 工艺技术 化学机械平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门延武
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0