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国家自然科学基金(90401002)
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刘明
郭婷婷
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王丛舜
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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李金儒
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
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胡媛
供职机构:中国科学院微电子研究所
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赵珉
供职机构:湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
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陈军宁
供职机构:安徽大学
研究主题:反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 裕度
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郭婷婷
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:浮栅 非易失存储器 冠状 势垒 俘获
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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管伟华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 纳米晶 浮栅 硅衬底 非挥发性存储器
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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涂德钰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子学 分子电子学 交叉线 电子束光刻 有机分子
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