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国家自然科学基金(90401002)

作品数:7 被引量:2H指数:1
相关作者:刘明郭婷婷龙世兵赵珉王丛舜更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所安徽大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信电气工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

领域

  • 12个电子电信
  • 11个自动化与计算...
  • 9个一般工业技术
  • 7个理学
  • 5个机械工程
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  • 2个环境科学与工...
  • 2个自然科学总论
  • 1个矿业工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学

主题

  • 12个纳米
  • 11个微电子
  • 10个电子束光刻
  • 9个电子器件
  • 9个电子束曝光
  • 8个电极
  • 7个电路
  • 7个电学
  • 7个电学特性
  • 7个电子束抗蚀剂
  • 7个电子束直写
  • 7个淀积
  • 7个定影
  • 5个单电子晶体管
  • 5个单电子器件
  • 5个导电薄膜
  • 5个等离子体刻蚀
  • 5个低能离子
  • 5个电子束
  • 5个多边形

机构

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  • 1个湛江师范学院
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资助

  • 12个国家重点基础...
  • 12个国家自然科学...
  • 10个国家高技术研...
  • 4个国家科技重大...
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传媒

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地区

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  • 1个安徽省
  • 1个广东省
12 条 记 录,以下是 1-10
刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金儒
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡媛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:浮栅 存储器 硅衬底 非挥发性存储器 非易失存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵珉
供职机构:湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈军宁
供职机构:安徽大学
研究主题:反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 裕度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭婷婷
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:浮栅 非易失存储器 冠状 势垒 俘获
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
管伟华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 纳米晶 浮栅 硅衬底 非挥发性存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
涂德钰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子学 分子电子学 交叉线 电子束光刻 有机分子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
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