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国家高技术研究发展计划(2006AA04AZ237)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：张冬仙林星伊福廷王波赵冬伟更多>>
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地区

  • 4个浙江省
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
张冬仙
供职机构：浙江大学
研究主题：原子力显微镜 压电陶瓷 步进 AFM 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林星
供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室
研究主题：LIGA技术 LIGA ANSYS仿真 光热偏转 微开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘超
供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室
研究主题：激光 准分子激光 正则化 微驱动器 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王波
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：光刻胶 氯化铯 套刻 硅 硅表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵冬伟
供职机构：浙江大学
研究主题：微开关 开关功能 聚焦透镜 金属 驱动源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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