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国家科技重大专项(2011ZX02707-3)
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吴东平
叶立
孙清清
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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魏红强
供职机构:复旦大学
研究主题:石墨烯 集成电路制造 晶格结构 介质薄膜 介质
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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陈琳
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:存储器 氧化镍 NIO 稳定性 X
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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叶立
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:氧 红外探测器 烯基 石墨烯 石墨
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周鹏
供职机构:贵州大学
研究主题:存储器 百香果 石墨烯 集成电路制造 胶囊
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吴东平
供职机构:复旦大学
研究主题:金属半导体 场效应晶体管 肖特基结 金属硅化物 半导体
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