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国家自然科学基金(50805123)
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乔大勇
刘耀波
苑伟政
燕斌
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乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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刘耀波
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 微机电系统 绝缘体上硅 沟道 刻蚀
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苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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燕斌
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 刻蚀 微机电系统 锚点 微机械
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吴蒙
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 光学器件 绝缘体上硅 谐振频率 微机电系统
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李晓莹
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
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梁晓伟
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 谐振频率 沟道 刻蚀 离子
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练彬
供职机构:西北工业大学深圳研究院
研究主题:扫描镜 谐振频率 静电驱动 光学器件 绝缘体上硅
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李昭
供职机构:上海微小卫星工程中心
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郑晓沛
供职机构:西北工业大学
研究主题:微型加速度传感器 玩具 炸弹 语音处理芯片 娱乐性
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