您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(90207013)

作品数：4 被引量：10H指数：2
相关作者：张大成于晓梅阮勇李婷王小保更多>>
相关机构：北京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

领域

  • 10个自动化与计算...
  • 9个电子电信
  • 6个机械工程
  • 5个医药卫生
  • 5个理学
  • 4个一般工业技术
  • 3个生物学
  • 3个电气工程
  • 3个文化科学
  • 2个经济管理
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个农业科学
  • 1个天文地球
  • 1个环境科学与工...
  • 1个政治法律

主题

  • 9个悬臂
  • 9个悬臂梁
  • 7个电路
  • 7个噪声
  • 7个阵列式
  • 6个单片
  • 6个单片集成
  • 4个等离子体
  • 4个等离子体刻蚀
  • 4个电器
  • 4个淀积
  • 4个多晶
  • 4个多晶硅
  • 3个单晶
  • 3个氮化硅
  • 3个氮化硅薄膜
  • 3个典型结构
  • 3个电极
  • 3个电流
  • 3个电容

机构

  • 10个北京大学
  • 1个北京广播学院
  • 1个清华大学

资助

  • 10个国家自然科学...
  • 7个国家高技术研...
  • 7个中国博士后科...
  • 5个国家重点基础...
  • 3个国家重点实验...
  • 2个国防科技重点...
  • 2个电子测试技术...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个电子薄膜与集...
  • 1个教育部“新世...
  • 1个清华大学自主...
  • 1个上海市教育发...

传媒

  • 6个Journa...
  • 6个微纳电子技术
  • 5个物理学报
  • 5个中国机械工程
  • 5个中国微米纳米...
  • 4个机械强度
  • 4个中国微米、纳...
  • 3个传感技术学报
  • 3个第五届全国微...
  • 2个中国优生与遗...
  • 2个光学精密工程
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个北京大学学报...
  • 2个电子学报
  • 2个微电子学与计...
  • 2个强激光与粒子...
  • 2个高技术通讯
  • 2个中国科学（E...
  • 2个光电工程
  • 2个测试技术学报

地区

  • 10个北京市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于晓梅
供职机构：北京大学
研究主题：红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王小保
供职机构：北京大学
研究主题：单片集成 集成化 流量计 CMOS电路 大量程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阮勇
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 继电器 刻蚀 微机电系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵涛
供职机构：北京大学
研究主题：CMOS电路 单片集成 大量程 流量计 集成化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜先锋
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS器件 工艺技术 革命性 芯片级封装 体硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王小宝
供职机构：北京大学微电子学研究院
研究主题：悬臂梁 灵敏度 特性分析 阵列式 噪声
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海涛
供职机构：北京大学
研究主题：单片集成 MEMS SOI 悬臂梁 集成化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丛舜
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 残余应力 阈值电压 静电驱动 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0