您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(2006AA843134)

作品数：3 被引量：21H指数：3
相关作者：刘明谢常青朱效立姜骥陈宝钦更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院长春理工大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 16个电子电信
  • 15个自动化与计算...
  • 14个理学
  • 13个机械工程
  • 11个一般工业技术
  • 9个金属学及工艺
  • 9个文化科学
  • 7个电气工程
  • 6个经济管理
  • 6个化学工程
  • 6个核科学技术
  • 6个医药卫生
  • 5个天文地球
  • 5个交通运输工程
  • 4个建筑科学
  • 4个航空宇航科学...
  • 4个环境科学与工...
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个农业科学
  • 3个自然科学总论

主题

  • 14个电子束光刻
  • 14个透射
  • 14个透射光
  • 14个光刻
  • 13个等离子体
  • 12个透射光栅
  • 10个电路
  • 10个电子束
  • 9个等离子体刻蚀
  • 9个电磁
  • 9个电极
  • 7个电压
  • 7个电子束抗蚀剂
  • 7个电子束曝光
  • 7个电子束直写
  • 7个对准标记
  • 6个氮化
  • 6个电子束光刻技...
  • 6个定影
  • 5个电子散射

机构

  • 12个中国科学院微...
  • 4个中国科学院
  • 4个中国科学院微...
  • 3个长春理工大学
  • 3个兰州大学
  • 3个中国工程物理...
  • 2个北京大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个南京大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个清华大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个教育部
  • 1个天津大学
  • 1个湛江师范学院
  • 1个浙江大学

资助

  • 16个国家高技术研...
  • 16个国家重点基础...
  • 16个国家自然科学...
  • 9个国家科技重大...
  • 5个国家重大科学...
  • 5个中国科学院知...
  • 4个国家科技攻关...
  • 4个“九五”国家...
  • 4个中国人民解放...
  • 3个国家杰出青年...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个全球变化研究...
  • 3个应用光学国家...
  • 3个中国工程物理...
  • 2个北京市科技新...
  • 2个吉林省科技发...
  • 2个吉林省科技攻...
  • 2个吉林省自然科...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个高温高密度等...

传媒

  • 13个Journa...
  • 11个光学学报
  • 11个微细加工技术
  • 10个物理学报
  • 10个微纳电子技术
  • 9个光子学报
  • 9个光电工程
  • 8个光学精密工程
  • 7个半导体技术
  • 7个微电子学
  • 6个物理
  • 6个电子器件
  • 6个第十二届全国...
  • 6个2010(第...
  • 6个中国光学学会...
  • 5个科学通报
  • 5个核技术
  • 5个纳米技术与精...
  • 4个红外与激光工...
  • 4个强激光与粒子...

地区

  • 11个北京市
  • 2个吉林省
  • 2个四川省
  • 1个广东省
共 16 条 记 录，以下是 1-10
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张庆钊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜骥
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 纳米压印光刻 纳米压印 螺孔 螺杆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付强
供职机构：长春理工大学
研究主题：偏振 偏振特性 传输特性 成像 偏振光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘兴华
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：有机场效应晶体管 电极 有机半导体材料 有机半导体 真空蒸镀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵珉
供职机构：湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0