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国家重点基础研究发展计划(G2000067207-2)
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柳襄怀
王曦
冯涛
徐静芳
蒋军
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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冯涛
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
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徐静芳
供职机构:华东师范大学
研究主题:硅 冷阴极 场发射 场发射阵列 场发射显示器
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蒋军
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 性能研究 碳纳米管 钼栅极 电子发射
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任琮欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
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江炳尧
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
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李琼
供职机构:华东师范大学
研究主题:场发射显示器 硅 碳纳米管 场发射阵列 冷阴极
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张继华
供职机构:电子科技大学
研究主题:射频磁控溅射 BST 铁电薄膜 介电性能 基片
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郑志宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 铪 离子注入 离子束增强沉积 性能研究
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