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浙江省重中之重学科开放基金(AMT200708-28)
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马冰迅
彭伟
许雪峰
胡建德
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浙江省重中之重学科开放基金
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马冰迅
供职机构:浙江工业大学机械工程学院特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
研究主题:化学机械抛光 硅片 抛光垫 参数优化 CMP
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许雪峰
供职机构:浙江工业大学
研究主题:微量润滑 喷嘴 电解加工 荷电 静电
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彭伟
供职机构:浙江工业大学
研究主题:线锯 磨粒 磁感应 种植体 电解加工
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胡建德
供职机构:浙江工业大学
研究主题:化学机械抛光 电泳 抛光垫 辅助磁场 耐用度
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