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上海市自然科学基金(12ZR1436300)
作品数:
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母志强
张苗
陈达
狄增峰
薛忠营
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母志强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜 图形化
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所获资助
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薛忠营
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
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相关人物
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研究领域
张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
陈达
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 离子注入 绝缘体 单晶薄膜
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供职机构
所获资助
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狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
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刘林杰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 氢离子 快速热退火 绝缘体
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