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应用光学国家重点实验室开放基金(09Q03FQ090)
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相关作者:
金春水
王丽萍
马冬梅
张宇
卢增雄
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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马冬梅
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形误差 面形检测 点衍射干涉仪 面形
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王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
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张宇
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:成像系统 光学测量技术 波像差 空间相机 FPGA
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张立超
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:多层膜 光学镀膜 极紫外 膜厚 镀膜
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陈土泉
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:迭代算法 位相 波像差 光学成像 信息光学
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卢增雄
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:波像差 哈特曼波前传感器 衍射 准直物镜 球面波
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