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国家重点实验室开放基金(51485020301)
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蒋振新
张永华
杨春生
丁桂甫
李永海
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李永海
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 传质过程 LIGA技术 微电铸 牺牲层技术
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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张永华
供职机构:华东师范大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 牺牲层 双稳态 光刻胶
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蒋振新
供职机构:上海交通大学
研究主题:特征阻抗 共面波导 导体损耗 微机电系统 插入损耗
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