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国家自然科学基金(10376010)
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2
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陈庆川
苏志伟
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中国核工业集团公司
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国家自然科学基金
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苏志伟
供职机构:中国核工业集团公司核工业西南物理研究院
研究主题:电感耦合等离子体 离子束刻蚀 粗糙度 天线设计 天线
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陈庆川
供职机构:中国核工业集团公司核工业西南物理研究院
研究主题:离子注入 离子束 PSII 离子源 放电等离子体
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