您的位置： 专家智库 > >

上海市科学技术发展基金(0359nm004)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：张苗王石冶刘卫丽宋志棠林成鲁更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：上海市科学技术发展基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

领域

  • 5个电子电信
  • 5个理学
  • 4个化学工程
  • 4个金属学及工艺
  • 4个一般工业技术
  • 3个电气工程
  • 3个自动化与计算...
  • 3个文化科学
  • 2个生物学
  • 2个机械工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个核科学技术
  • 2个自然科学总论
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个兵器科学与技...

主题

  • 5个电路
  • 4个单晶
  • 4个单晶薄膜
  • 4个单晶硅
  • 4个氮化
  • 4个导体
  • 4个电路工艺
  • 4个电子领域
  • 4个电子器件
  • 4个淀积
  • 3个氮化铝
  • 3个导电
  • 3个等离子体
  • 3个电极
  • 3个调制
  • 2个单分散
  • 2个氮化钛
  • 2个等离子体增强
  • 2个等离子体增强...
  • 2个低电源电压

机构

  • 5个中国科学院
  • 3个中国科学院上...
  • 2个上海大学
  • 2个中科院上海微...
  • 2个上海新安纳电...
  • 1个复旦大学
  • 1个北京大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个太原重型机械...
  • 1个西安交通大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中山大学
  • 1个上海科学院
  • 1个江苏石油化工...
  • 1个中国科学院研...
  • 1个交通大学
  • 1个上海钢铁研究...
  • 1个上海新傲科技...
  • 1个上海市纳米科...

资助

  • 5个国家重点基础...
  • 5个国家自然科学...
  • 5个上海市科学技...
  • 4个国家科技重大...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个上海市青年科...
  • 3个上海市自然科...
  • 2个基础研究重大...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个上海市国际科...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个上海市重大科...
  • 2个中国科学院战...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个中国科学院王...

传媒

  • 5个功能材料
  • 5个微电子学
  • 5个第五届中国功...
  • 4个半导体技术
  • 4个Journa...
  • 4个物理学报
  • 4个功能材料与器...
  • 3个物理
  • 3个无机材料学报
  • 3个材料导报
  • 3个中国科学（E...
  • 3个第十二届全国...
  • 3个第十三届全国...
  • 3个第十四届全国...
  • 2个稀有金属材料...
  • 2个应用化工
  • 2个科学通报
  • 2个电子学报
  • 2个无机化学学报
  • 2个武汉理工大学...

地区

  • 5个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋志棠
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王石冶
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 高压器件 高压器 击穿电压 介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0