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国家自然科学基金(10575076)
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2
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黄承超
陈玲燕
王占山
刘刚
徐垚
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陈玲燕
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 软X射线 磁控溅射 反射率 气凝胶
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黄承超
供职机构:同济大学理学院精密光学工程技术研究所
研究主题:X射线衍射仪 X射线 SU-8 紫外光刻 X射线光学
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王占山
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 极紫外 软X射线 反射率 磁控溅射
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徐垚
供职机构:同济大学
研究主题:磁控溅射 多层膜 X射线衍射仪 X射线 软X射线激光
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刘刚
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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穆宝忠
供职机构:同济大学
研究主题:X射线 物镜 等离子体诊断 空间分辨率 成像系统
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