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国家自然科学基金(60777016)

作品数：23 被引量：103H指数：6
相关作者：李以贵杉山进杨春生刘景全张俊峰更多>>
相关机构：上海交通大学日本立命馆大学上海应用技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目上海市浦江人才计划项目更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 15个上海市
  • 1个江西省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
李以贵
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杉山进
供职机构：日本立命馆大学
研究主题：高深宽比 聚甲基丙烯酸甲酯 PZT 锆钛酸铅 X光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张俊峰
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：声表面波 叉指换能器 液滴 英文 铜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高阳
供职机构：上海交通大学
研究主题：声表面波 奥氏体不锈钢 含铝 超临界 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄远
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：液相 PZT 压电陶瓷 压电 微细加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈少军
供职机构：上海交通大学
研究主题：高深宽比 正交试验 参数优化 SI 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
颜平
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：液相 PZT 压电陶瓷 压电 微细加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何丹农
供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院
研究主题：拉深 板料成形 数值模拟 压边力 钛酸锂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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