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国家高技术研究发展计划(2009AA04Z322)
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秦明
赵成龙
黄庆安
马洪宇
张广庆
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秦明
供职机构:东南大学电子科学与工程学院
研究主题:风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
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赵成龙
供职机构:东南大学
研究主题:氧化层 响应速度 电容式 湿度传感器 CMOS
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张广庆
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 后处理工艺 后处理 聚酰亚胺 电容式湿度传感器
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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刘岩
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS CMOS工艺 CMOS 电容式湿度传感器 电容式传感器
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葛宇昊
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:电阻抗断层成像 电阻率 气流传感器 传感 MEMS传感器
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马洪宇
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:微机电系统 传感器设计 悬臂梁 谐振式 频率测量
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聂萌
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 压阻式压力传感器 灵敏度 高灵敏度 金属电极
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蒋明霞
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 单片机 C8051F020 C8051F ADΜC812
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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